[發明專利]一種方塊電阻的測量方法

有效

• 申請號: 201410096391.1
• 申請日: 2014-03-14
• 公開（公告）號: CN103884912A
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發明（設計）人: 舒適;孫冰;張斌;盧珂鑫;石岳;呂志軍
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種方塊電阻的測量方法，其特征在于，包括：

設置搭橋圖形和至少一對電極，其中，所述搭橋圖形的材料為待測試材料，每對電極中包括相互不連通的兩塊電極，所述兩塊電極通過所述搭橋圖形連接；

測量每對電極中兩塊電極之間的電阻，并根據測量得到的電阻以及搭橋圖形的形狀，確定所述待測試材料的方塊電阻。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，分別將每對電極中的兩塊電極通過搭橋圖形進行連接之后，該方法還包括：

形成覆蓋所述電極與所述搭橋圖形的保護層；

對所述保護層在對應各電極的位置處進行過孔工藝，并分別形成暴露相應電極的過孔；

所述測量每對電極中兩塊電極之間的電阻，具體包括：

通過所述過孔測量每對電極中兩塊電極之間的電阻。

3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，暴露各電極的過孔大小相同，且各過孔暴露的電極的位置相對電極被搭橋圖形連接一側邊緣的距離相等。

4.如權利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述電極為金屬電極。

5.如權利要求4所述的方法，其特征在于，所述金屬電極的材料為金、鉑金或銀，設置的金屬電極的對數為一對。

6.如權利要求5所述的方法，其特征在于，所述根據測量得到的電阻以及搭橋圖形的形狀，確定所述待測試材料的方塊電阻，具體包括：

當所述搭橋圖形為具有設定長度和寬度的規則幾何圖形時；

按照公式Rs=R*d/L，確定連接每對金屬電極的搭橋圖形的方塊電阻；

對確定得到的搭橋圖形的方塊電阻進行求平均運算，并將得到的平均值作為方塊電阻；

其中，Rs為搭橋圖形的方塊電阻，R為每對金屬電極中兩塊金屬電極之間測量得到的電阻，d為連接每對金屬電極的搭橋圖形的寬度，L為位于兩塊金屬電極之間的搭橋圖形的長度。

7.如權利要求4所述的方法，其特征在于，所述金屬電極的材料為鉬、鋁、釹、銅或金屬合金，設置的金屬電極的對數為至少兩對。

8.如權利要求7所述的方法，其特征在于，設置的金屬電極的對數為兩對。

9.如權利要求8所述的方法，其特征在于，所述根據測量得到的電阻以及搭橋圖形的形狀，確定所述待測試材料的方塊電阻，具體包括：

當所述搭橋圖形為具有設定長度和寬度的規則幾何圖形，且各搭橋圖形位于兩塊金屬電極之間的長度不等時；

按照公式分別確定每兩對金屬電極的搭橋圖形的方塊電阻；

對確定得到搭橋圖形的方塊電阻進行求平均運算，并將得到的平均值作為石墨烯的方塊電阻；

其中，Rs為搭橋圖形的方塊電阻，R1為第一對金屬電極中兩塊金屬電極之間的電阻，d1為連接第一對金屬電極的搭橋圖形的寬度，l1為位于第一對金屬電極中兩塊金屬電極之間的搭橋圖形的長度，R2為第二對金屬電極中兩塊金屬電極之間的電阻，d2為連接第二對金屬電極的搭橋圖形的寬度，l2為位于第二對金屬電極中兩塊金屬電極之間的搭橋圖形的長度。

10.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述待測試材料為納米碳材料。