[發(fā)明專利]用于RF頻率／功率測量的ATE數(shù)字通道

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410096219.6
• 申請日: 2014-03-14
• 公開（公告）號(hào): CN104049142B
• 公開（公告）日: 2018-11-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張衛(wèi)民
• 申請（專利權(quán)）人: 愛德萬測試公司
• 主分類號(hào): G01R23/02
• 分類號(hào): G01R23/02;G01R19/25
• 代理公司: 北京東方億思知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11258
• 代理人: 李曉冬

公開了使用自動(dòng)測試設(shè)備(ATE)進(jìn)行測試的方法和用于RF頻率／功率測量的ATE數(shù)字通道。所述方法包括使用自動(dòng)測試設(shè)備上的數(shù)字端口來采集射頻(RF)信號(hào)，其中要由所述自動(dòng)測試設(shè)備測試的所述RF信號(hào)是從被測設(shè)備(DUT)發(fā)射的。所述方法還包括使用與所述數(shù)字端口相關(guān)聯(lián)的數(shù)字通道以高采樣率對所述RF信號(hào)進(jìn)行采樣。另外，所述方法包括使用來自所述采樣的結(jié)果生成離散信號(hào)。最后，所述方法包括使用所述離散信號(hào)來確定所述射頻信號(hào)的頻率和幅值。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的實(shí)施例總體上涉及自動(dòng)設(shè)備測試，并且更具體地涉及使用自動(dòng)測試設(shè)備(ATE)進(jìn)行與射頻(RF)信號(hào)相關(guān)的測試。

背景技術(shù)

自動(dòng)測試設(shè)備(ATE)可以是在設(shè)備、半導(dǎo)體晶圓或模具等上執(zhí)行測試的任何測試組件。ATE組件可以用于實(shí)行快速執(zhí)行測量并且生成可隨后被分析的測試結(jié)果的自動(dòng)測試。ATE組件可以是來自與儀表、復(fù)雜的自動(dòng)測試組件耦接的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的任何部分，該計(jì)算機(jī)系統(tǒng)可以包括自定義的專用計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)以及能夠自動(dòng)測試零件和／或半導(dǎo)體的許多不同的測試儀器。自動(dòng)測試設(shè)備(ATE)常常用于電子芯片制造領(lǐng)域。ATE系統(tǒng)既減少了花費(fèi)在測試設(shè)備以確保該設(shè)備按照設(shè)計(jì)的方式工作的時(shí)間量，又充當(dāng)診斷工具以在給定設(shè)備到達(dá)顧客之前確定給定設(shè)備中的故障組件的存在。

例如，在制造之后，在測試設(shè)備或產(chǎn)品時(shí)，除別的之外，至關(guān)重要的是實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)品質(zhì)量、對設(shè)備或產(chǎn)品性能的評(píng)估、涉及制造過程的反饋以及最終的高客戶滿意度。通常進(jìn)行多種測試以便確保設(shè)備或產(chǎn)品的正確運(yùn)作。一般來講，由于就所需的測試設(shè)備的資本成本而言以及就所需的測試時(shí)間的成本而言，測試半導(dǎo)體設(shè)備或產(chǎn)品會(huì)非常昂貴，所以應(yīng)當(dāng)以高效的方式進(jìn)行設(shè)備或產(chǎn)品的測試。因此，常常并行地測試設(shè)備以減少測試時(shí)間。從高效的觀點(diǎn)來看，測試集成電路芯片的射頻(RF)功能以及這種功能對預(yù)期的無線標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)格(例如，Bluetooth^TM、GSM^TM等)的遵從度會(huì)具有挑戰(zhàn)性，因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)自動(dòng)測試設(shè)備上的RF端口的數(shù)量是有限的。通常，取放機(jī)器會(huì)將待測的芯片設(shè)備放入專用ATE的適當(dāng)構(gòu)造的測試板中。ATE在被測設(shè)備(DUT)上施加適當(dāng)?shù)臏y試信號(hào)并且通過或拒絕該設(shè)備。這種個(gè)體芯片測試顯現(xiàn)出的問題在于耗時(shí)，因此，增加了總的制造成本。另外，典型ATE裝置上有限數(shù)量的RF端口阻止了并行地測試多個(gè)DUT。

因此，使用常規(guī)的系統(tǒng)來測試集成電路芯片的RF功能的成本很高。嘗試使用有限數(shù)量的RF端口來測試RF功率和頻率使得難以實(shí)現(xiàn)多位點(diǎn)測試和并行測試。每次測試成本(COT)對于客戶而言通常難以接受，尤其當(dāng)涉及低成本的集成電路芯片時(shí)，因?yàn)闇y試成本可能是單價(jià)的重要組成部分。在一些情況下，COT可以高達(dá)制造集成的包括無線RF的片上系統(tǒng)(SOC)設(shè)備的總成本的10％。

發(fā)明內(nèi)容

因此，需要用于測試并測量RF使能的DUT的輸出的方法，所述方法提高并行測試效率和吞吐量(在一定時(shí)間量內(nèi)被測試的單元)。本發(fā)明的實(shí)施例提供了用于通過使用標(biāo)準(zhǔn)ATE數(shù)字通道測量RF頻率和功率來測試集成電路芯片的射頻(RF)功能的方法和系統(tǒng)。通常，常規(guī)ATE可以具有幾百個(gè)數(shù)字輸入／輸出(I／O)和通道，而具有不足十個(gè)并行RF接收器端口。因此，使用易得的數(shù)字通道之一來測試RF功率和頻率產(chǎn)生比使用有限數(shù)量的RF端口的常規(guī)系統(tǒng)更高的效率和吞吐量。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，公開了一種使用自動(dòng)測試設(shè)備(ATE)進(jìn)行測試方法。所述方法包括使用自動(dòng)測試設(shè)備上的數(shù)字端口來采集射頻(RF)信號(hào)，其中要由所述述自動(dòng)測試設(shè)備測試的所述RF信號(hào)是從被測設(shè)備(DUT)發(fā)射的。所述方法還包括使用與所述數(shù)字端口相關(guān)聯(lián)的數(shù)字通道以高采樣率對所述RF信號(hào)進(jìn)行采樣。另外，所述方法包括使用來自所述采樣的結(jié)果生成離散信號(hào)。最后，所述方法包括使用所述離散信號(hào)來確定所述射頻信號(hào)的頻率和幅值。