[發明專利]一種增強金屬基擋板吸附薄膜態物質的工藝

有效

• 申請號: 201410096131.4
• 申請日: 2014-03-16
• 公開（公告）號: CN103882367A
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發明（設計）人: 曲文超;郭麗娟;孫廷芳;徐曉東;西澤裕;宇佐美守
• 申請（專利權）人: TDK大連電子有限公司
• 主分類號: C23C4/12
• 分類號: C23C4/12;C23C4/08
• 代理公司: 大連星海專利事務所 21208
• 代理人: 王樹本

1.一種增強金屬基擋板吸附薄膜態物質的工藝，其特征在于包括以下步驟：

（a）噴砂清洗，使用顆粒尺寸為35～45目的石英砂對金屬基擋板進行噴砂清洗、用于增加金屬基擋板表面粗糙度，所述噴砂清洗工藝參數為：壓縮空氣壓力控制在0.6～0.8MPa、噴射距離控制在180～200mm、噴射角度控制在60°～90°；

（b）電弧噴涂，將原材料金屬呈熔化或半熔化狀態制備到金屬基擋板表面、得到涂層厚度為480～520μm、涂層粗糙度為100～120μm,的金屬涂層，所述電弧噴涂工藝參數為：電壓控制在30～35V、電流控制在180～200A、壓縮空氣壓力控制在50～60psi、噴涂工作距離控制在150～200mm；

（c）水浴清洗，將步驟（b）制備有金屬涂層的金屬基擋板進行27～33℃溫水浴超聲清洗，清洗后使用高壓氮氣吹干，用于提高金屬涂層的表面活性。

2.根據權利要求1所述一種增強金屬基擋板吸附薄膜態物質的工藝，其特征在于：所述金屬基擋板材質選自鋁、銅或不銹鋼中的一種。

3.根據權利要求1所述一種增強金屬基擋板吸附薄膜態物質的工藝，其特征在于：所述原材料金屬選自低熔點、無磁性、純度為99.9%～99.99%的金屬鋁。