[發明專利]一種覆膠固晶設備

有效

• 申請號: 201410094626.3
• 申請日: 2014-03-15
• 公開（公告）號: CN103871910B
• 公開（公告）日: 2017-10-13
• 發明（設計）人: 孫亞雷;米廣輝;羅尚峰
• 申請（專利權）人: 深圳翠濤自動化設備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/56
• 分類號: H01L21/56;H01L21/67
• 代理公司: 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙)44268
• 代理人: 王永文,劉文求

1.一種覆膠固晶設備，其特征在于，包括：

晶圓盤，用于放置待固晶的晶粒；

膠盤，用于對該晶粒的底部包覆膠水進行黏膠處理；

載體，用于提供該晶粒的待固晶位；

固晶臂，用于拾取該晶粒，并通過該固晶臂將所述晶粒送至膠盤工位進行黏膠處理，再通過該固晶臂將黏膠處理后的晶粒粘焊在載體上的待固晶位；

還包括一旋轉裝置，四個所述固晶臂間隔設置在所述旋轉裝置的周側，通過所述旋轉裝置帶動轉動至預定工位，所述晶圓盤、膠盤、載體依次設置在所述固晶臂運動軌跡上的預定工位；

所述預定工位包括：拾晶位、黏膠位及固晶位；

還包括清洗盤，用于固晶后對固晶臂端部的吸嘴座上的吸嘴進行清潔處理；

在固晶臂圓形運動軌跡的工位上依次設置有晶圓盤、膠盤、載體、清洗盤，將固晶臂圓形運動軌跡均分為四個方向的工位，而晶圓盤、膠盤、載體、清洗盤按照固晶循序依次放置在對應的四個方向的工位上；

所述固晶臂端部設置有拾取裝置，所述拾取裝置通過真空吸附的方式將晶圓盤上頂起的晶粒抓住。

2.根據權利要求1所述的覆膠固晶設備，其特征在于，所述旋轉裝置為一驅動電機，所述驅動電機的驅動端套接有旋轉安裝座，所述固晶臂可上下運動地安裝在所述旋轉安裝座上。

3.根據權利要求2所述的覆膠固晶設備，其特征在于，所述旋轉安裝座的周側均勻分布有若干個安裝位，所述固晶臂的端部活動連接在所述安裝位上。

4.根據權利要求1所述的覆膠固晶設備，其特征在于，所述拾取裝置為一吸嘴座，所述吸嘴座上設置有吸嘴，用于吸附待固晶的晶粒。