[發明專利]激光加工裝置以及激光加工方法

有效

• 申請號: 201410090728.8
• 申請日: 2014-03-12
• 公開（公告）號: CN104057203A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發明（設計）人: 萬雅史;岡田康弘
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業株式會社
• 主分類號: B23K26/0622
• 分類號: B23K26/0622
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 溫旭;郝傳鑫

1.一種激光加工裝置，其中，具有：

激光光源，與從外部接收的振蕩開始觸發信號同步開始激光振蕩，并與振蕩停止觸發信號同步停止激光振蕩；

檢測器，檢測依賴于向所述激光光源施加的電力以及從所述激光光源射出的激光脈沖的至少其中之一的物理量；以及

控制裝置，向所述激光光源施加所述振蕩開始觸發信號，并且根據利用所述檢測器檢測的所述物理量的檢測結果，向所述激光光源施加所述振蕩停止觸發信號。

2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其中，

所述檢測器檢測從所述激光光源射出的激光脈沖，

所述控制裝置以利用所述檢測器檢測的激光脈沖的檢測時刻為基準，決定向所述激光光源施加所述振蕩停止觸發信號的時刻，在所決定的時刻向所述激光光源施加所述振蕩停止觸發信號。

3.根據權利要求2所述的激光加工裝置，其中，

所述控制裝置存儲應射出的激光脈沖的目標脈沖寬度，在從利用所述檢測器檢測的激光脈沖的檢測時刻經過與所述目標脈沖寬度相等的時間的時刻，向所述激光光源施加所述振蕩停止觸發信號。

4.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其中，

所述激光光源具有：

激光介質氣體；

放電電極，激發所述激光介質氣體；以及

驅動電路，通過接收所述振蕩開始觸發信號，開始向所述放電電極供給電力，并通過接收所述振蕩停止觸發信號，停止向所述放電電極供給電力，

所述物理量為施加于所述放電電極的電壓以及電流的至少其中之一，

所述控制裝置在向所述驅動電路施加所述振蕩開始觸發信號之后，根據利用所述檢測器檢測出的所述物理量的檢測值，向所述驅動電路施加所述振蕩停止觸發信號。

5.根據權利要求4所述的激光加工裝置，其中，

所述控制裝置在向所述驅動電路施加所述振蕩開始觸發信號之后，根據經過預先規定的判定時間之前檢測出的利用所述檢測器檢測的檢測結果，計算從施加所述振蕩開始觸發信號到施加所述振蕩停止觸發信號為止的時間寬度。

6.根據權利要求4或5所述的激光加工裝置，其中，

所述控制裝置進行如下控制：所述檢測器檢測出的所述物理量越大，使從所述振蕩開始觸發信號到所述振蕩停止觸發信號為止的時間寬度越短。

7.根據權利要求4至6中任一項所述的激光加工裝置，其中，

所述控制裝置存儲利用所述檢測器測量的所述物理量與從所述振蕩開始觸發信號到所述振蕩停止觸發信號為止的時間的對應關系，

根據利用所述檢測器檢測出的所述物理量的檢測值與所述對應關系，求出從所述振蕩開始觸發信號到所述振蕩停止觸發信號為止的時間寬度。

8.一種激光加工方法，其中，具有如下工序：

向激光光源施加振蕩開始觸發信號的工序，所述激光光源與從外部接收的所述振蕩開始觸發信號同步開始激光振蕩，并與振蕩停止觸發信號同步停止激光振蕩；

檢測依賴于向所述激光光源施加的電力以及從所述激光光源射出的激光脈沖的至少其中之一的物理量的工序；以及

根據所述物理量的檢測結果，向所述激光光源施加所述振蕩停止觸發信號的工序。

9.根據權利要求8所述的激光加工方法，其中，

在檢測所述物理量的工序中，檢測從所述激光光源射出的所述激光脈沖的上升時刻，

在施加所述振蕩停止觸發信號的工序中，在從所述激光脈沖的上升時刻經過與預先設定的目標脈沖寬度相當的時間的時刻，向所述激光光源施加所述振蕩停止觸發信號。

10.根據權利要求8所述的激光加工方法，其中，

所述激光光源包括放電電極，

在檢測所述物理量的工序中檢測出的所述物理量為施加于所述放電電極的電壓或電流的至少其中之一，

施加所述振蕩停止觸發信號的工序包括：

根據所述物理量的檢測值，計算向所述放電電極供給電力的時間寬度的工序，以及

在從施加所述振蕩開始觸發信號的時刻經過計算出的所述時間寬度的時刻，向所述激光光源施加所述振蕩停止觸發信號的工序。

11.根據權利要求10所述的激光加工方法，其中，

在計算所述時間寬度的工序中，根據從施加了所述振蕩開始觸發信號的時刻到經過預先規定的判定時間為止的所述電壓或電流的檢測值，計算所述時間寬度。