[發明專利]一種用于衍射生成圖像的階位對齊系統有效

申請號：	201410087306.5	申請日：	2014-03-11
公開（公告）號：	CN104049517B	公開（公告）日：	2018-08-07
發明（設計）人：	西蒙·格斯利;邁克爾·鉑金斯;約翰·杜姆;約翰·M·涅米寧	申請（專利權）人：	科視數字系統加拿大股份有限公司
主分類號：	G03H1/22	分類號：	G03H1/22;G02B27/42
代理公司：	上海申新律師事務所 31272	代理人：	吳俊
地址：	加拿大***	國省代碼：	加拿大;CA
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種用于衍射生成圖像對齊系統
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【說明書】：

本發明提供一種系統，用于衍射生成圖像的位階對齊。該系統包括：一衍射空間光調制器（DSLM），被配置以提供生成一圖像的全息圖的計算機;一基本相干光源，被配置為照亮DSLM,所述DSLM響應地產生沿著每個不同衍射階位路徑的圖像;以及至少一組位于沿DSLM的相應衍射階位路徑的光學部件，所述至少一組光學部件，被配置為對齊至少一個相應圖像，所述相應圖像從一具有在共同的圖像平面上衍射了的圖像的DSLM處衍射。

技術領域

本說明書涉及衍射顯示系統，并且具體地涉及用于衍射產生的圖像的階位對齊的系統。

背景技術

當使用衍射空間光調制器（ DSLM ）時，通過使用衍射技術來產生圖像，從DSLM衍射照明光到一階位，該照明光被分布的在該階位中。

發明內容

在本說明書中，元件可以被描述為“被配置為”執行一個或多個功能或“被配置用于”這樣的功能。在一般情況下，一元件被配置成執行或被配置用于執行一功能的元件被配置為執行該功能，或者能夠執行該功能，或者是適合于執行該功能，或者適于執行該功能，或可操作以執行該功能，或以其他方式能夠執行該功能。

本說明書的一個方面提供了一種系統，包括：一衍射空間光調制器（ DSLM ），被配置以提供生成一圖像的全息圖的計算機;一基本相干光源，被配置為照亮DSLM, 所述DSLM響應地產生沿著每個不同衍射階位路徑的圖像;以及至少一組位于沿DSLM的相應衍射階位路徑的光學部件，所述至少一組光學部件，被配置為對齊至少一個相應圖像，所述相應圖像從一具有另一個在一共同的圖像平面上衍射了的圖像的DSLM衍射。

所述DSLM可以包括數字微鏡裝置（DMD ），以及該系統還可以包括：一組光學部件，被配置以對齊來自DMD的關閉狀態衍射階位圖像與DMD的開啟狀態衍射階位圖像。

所述DSLM包括一個或多個相位調制器中，一光調制器，一反射光調制器，一透射光調制器中，一在硅液晶裝置（LCOS），一液晶顯示裝置裝置（LCD）和一數字微鏡裝置（DMD）。

所述至少一組光學部件包括一個或多個棱鏡，一個透鏡，一反射鏡，折疊光學器件和中繼光學器件。

所述至少一組的光學部件被進一步被配置以對齊雙圖像，從沿著相應的衍射階位路徑的DSLM衍射，與所述至少另一個在共同圖像平面的圖像衍射。

該系統還可以包括至少一個光場，所述光場被配置從圖像不直接投到共同圖像平面的衍射階位路徑吸收光。

該系統還可以包括至少一個光場，所述光場被配置為從相應的衍射階位路徑中移除相應的衍射階位點。

所述至少一組光學部件包括至少一個相應的光場，被配置為從相應的衍射階位路徑中移除相應的衍射階位點。

該系統還可以包括，在共同圖像平面中，一個或多個一個屏幕，一空間光調制器（SLM ），和一用于光刻樣品的安裝件。

所述基本相干光源包括一個或多個一激光器，一基本相干可視光源，一基本相干紅色光源，一基本相干綠色光源，一基本相干藍色光源，基本相干紫外光源，和一基本相干紅外光源。

所述DSLM的象素的節距是與一基本相干光源的波長是相容的。

該系統還可以還包括一計算裝置，被配置為控制所述DSLM以提供生成的該圖像的全息圖的該計算機。該計算裝置可以包括圖像生成器。

所述DSLM包括一反射光調制器，和位于該反射光調制器的同一側的基本相干光源，作為至少一組的光學部件。