[發(fā)明專利]分光瞳激光共焦布里淵-拉曼光譜測(cè)量方法及裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410086366.5
• 申請(qǐng)日: 2014-03-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103884704A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙維謙;邱麗榮;盛忠;王允
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京理工大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N21/65
• 分類號(hào): G01N21/65;G01N21/19
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.分光瞳激光共焦布里淵-拉曼光譜測(cè)量方法，其特征在于包括以下步驟：?

步驟一，在測(cè)量物鏡（2）的光瞳面上放置照明光瞳（3）和收集光瞳（4）；光源系統(tǒng)（1）發(fā)出激發(fā)光束，激發(fā)光束透過(guò)測(cè)量物鏡（2）的照明光瞳（3）后，聚焦在被測(cè)樣品（5）上，激發(fā)出載有被測(cè)樣品（5）光譜特性的拉曼散射光和布里淵散射光，并反射出瑞利光；拉曼散射光、布里淵散射光和瑞利光經(jīng)測(cè)量物鏡（2）的收集光瞳（4）到達(dá)二向色分光系統(tǒng)（6）；二向色分光系統(tǒng)（6）將拉曼散射光與其他光譜進(jìn)行無(wú)損分離；?

步驟二、經(jīng)二向色分光系統(tǒng)（6）反射的布里淵散射光和瑞利光進(jìn)入分光系統(tǒng)（11）；經(jīng)分光鏡透射的瑞利光和布里淵散射光進(jìn)入分光瞳激光共焦探測(cè)系統(tǒng)（16）；分光瞳激光共焦探測(cè)系統(tǒng)（16）利用探測(cè)器橫向偏移能夠使分光瞳共焦顯微系統(tǒng)的軸向響應(yīng)特性曲線產(chǎn)生相移的特性，實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)樣品（5）微區(qū)幾何位置的探測(cè)；經(jīng)分光系統(tǒng)（11）反射的布里淵散射光和瑞利光進(jìn)入布里淵光譜探測(cè)系統(tǒng)（12）進(jìn)行光譜探測(cè)；與此同時(shí)，經(jīng)二向色分光系統(tǒng)（6）透射的拉曼散射光進(jìn)入拉曼光譜探測(cè)系統(tǒng)（7）中進(jìn)行光譜探測(cè)；?

步驟三、經(jīng)分光系統(tǒng)（11）透射的瑞利光和布里淵散射光進(jìn)入分光瞳激光共焦探測(cè)系統(tǒng)（12）；分光瞳激光共焦探測(cè)系統(tǒng)（12）利用探測(cè)器橫向偏移可使分光瞳共焦顯微系統(tǒng)的軸向響應(yīng)特性曲線產(chǎn)生相移的特性，實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)樣品微區(qū)幾何位置的探測(cè)；具體過(guò)程為：對(duì)分光瞳激光共焦探測(cè)系統(tǒng)（12）獲得的探測(cè)光斑進(jìn)行處理，得到探測(cè)區(qū)域，測(cè)得反映樣品凹凸變化的強(qiáng)度響度相應(yīng)I(u)，即可進(jìn)行高空間分辨的三維尺度層析成像探測(cè)，其中，u為軸向歸一化光學(xué)坐標(biāo)；?

當(dāng)對(duì)拉曼光譜探測(cè)系統(tǒng)（7）獲得的拉曼光譜信號(hào)進(jìn)行處理時(shí)，系統(tǒng)能夠進(jìn)行拉曼光譜探測(cè)；當(dāng)對(duì)布里淵光譜探測(cè)系統(tǒng)（12）獲得的布里淵光譜信號(hào)進(jìn)行處理時(shí)，系統(tǒng)能夠進(jìn)行布里淵光譜探測(cè)；當(dāng)對(duì)分光瞳激光共焦探測(cè)系統(tǒng)（16）獲得的信號(hào)進(jìn)行處理時(shí)，進(jìn)行高空間分辨力層析成像；當(dāng)對(duì)分光瞳激光共焦探測(cè)系統(tǒng)（16）獲得的信號(hào)、拉曼光譜探測(cè)系統(tǒng)（7）獲得的拉曼光譜信號(hào)和布里淵光譜探測(cè)系統(tǒng)（12）獲得的布里淵光譜信號(hào)同時(shí)進(jìn)行處理時(shí)，系統(tǒng)能夠進(jìn)行高空間分辨力的微區(qū)圖譜層析成像，對(duì)樣品的多性能參數(shù)的綜合測(cè)試。?

2.根據(jù)權(quán)利1所述的分光瞳激光共焦布里淵-拉曼光譜測(cè)量方法，其特征在于：照明光瞳（3）和收集光瞳（4）可以是圓形的；還可以是D形或者其他形狀。?

3.根據(jù)權(quán)利1所述的分光瞳激光共焦布里淵-拉曼光譜測(cè)量方法，其特征在?于：激發(fā)光束可以是線偏光、圓偏光等偏振光束；還可以是由光瞳濾波技術(shù)生成的結(jié)構(gòu)光束，偏振光與光瞳濾波技術(shù)結(jié)合可以壓縮測(cè)量聚焦光斑尺寸，提高系統(tǒng)的橫向分辨力。?

4.根據(jù)權(quán)利1所述的分光瞳激光共焦布里淵-拉曼光譜測(cè)量方法，其特征在于：該系統(tǒng)還可以探測(cè)包括熒光、康普頓散射光等在內(nèi)的散射光譜。?