[發明專利]一種雙槽溝槽蝕刻機

有效

• 申請號: 201410082522.0
• 申請日: 2014-03-08
• 公開（公告）號: CN103834948A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 馬玉水
• 申請（專利權）人: 山東高唐杰盛半導體科技有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及電子元器件蝕刻處理裝置，具體涉及一種雙槽溝槽蝕刻機。

背景技術

蝕刻機主要應用于航空、機械、標牌工業中，蝕刻機技術廣泛地被使用于減輕重量儀器鑲板，銘牌及傳統加工法難以加工之薄形工件等之加工。在半導體和線路版制程上，蝕刻更是不可或缺的技術。也可對各種金屬如：鐵、銅、鋁、鈦金、不銹鋼、鋅版、等金屬和金屬制品的表面蝕刻圖紋、花紋、幾何形狀，并能精確鏤空。也可專業針對各種型號的國產和進口不銹鋼進行蝕刻和薄板切割，如今廣泛應用于金卡標牌加工、手機按鍵加工、不銹鋼濾網加工、不銹鋼電梯裝飾板加工、金屬引線框加工、金屬眼鏡腳絲加工、線路板加工、裝飾性金屬板加工等工業用途?，F有的蝕刻機一般采用抓取機械手將裝有電子元器件的工具藍放入酸洗槽、水槽進行蝕刻、清洗。機械手一般采用上下或左右的震動方式在將電子元器件酸液中腐蝕，抓取機械手需要采用復雜的控制機構才能實現標準化作業，常造成蝕刻面不均勻，大面積腐蝕速度慢，清洗不徹底等問題。

發明內容

針對現有技術的不足，本發明的目的在于提供一種雙槽溝槽蝕刻機，能夠解決蝕刻面不均勻，大面積腐蝕速度慢，清洗不徹底的問題。

本發明采用的技術方案是：一種雙槽溝槽蝕刻機，包括機架，機架上設有酸洗槽、水洗槽，所述酸洗槽與水洗槽之間設有輸送裝置，所述輸送裝置上活動連接有旋轉籃筐，所述輸送裝置可把旋轉籃筐送入酸洗槽進行蝕刻、所述輸送裝置可把旋轉籃筐送入水洗槽進行清洗，所述旋轉籃筐可沿其中軸線轉動；所述輸送裝置通過傳動裝置與動力輸出裝置相連。

進一步，所述輸送裝置包括轉動軸；所述轉動軸位于酸洗槽與水洗槽之間。

轉動軸的外側面上安裝有擺臂；所述旋轉籃筐的中軸線上設有旋轉軸，所述旋轉軸的兩端通過滾動軸承連接在擺臂的端部；所述旋轉籃筐的中軸線垂直于擺臂。所述轉動軸、旋轉軸通過傳動裝置與動力輸出裝置相連。

進一步，所述動力輸出裝置包括第一伺服電機、第二伺服電機；所述轉動軸為由內管、外管通過滾動軸承連接而成的內外鑲嵌結構；所述擺臂安裝在轉動軸的外管上，所述外管通過傳動裝置與第一伺服電機相連。

所述轉動軸的內管通過傳動裝置與第二伺服電機相連，轉動軸的內管的外側面上設有鏈輪，旋轉軸的外側面上設有鏈輪，內管的外側面上的鏈輪與旋轉軸的外側面上的鏈輪通過穿過外管的傳動鏈條相連；通過第一伺服電機實現轉動軸的外管轉動從而實現擺臂沿轉動軸轉動，通過第二伺服電機實現轉動軸的內軸轉動從而帶動旋轉籃筐沿旋轉軸轉動。

進一步，所述擺臂有兩個，所述擺臂固定在轉動軸的外管的外側面上；所述兩擺臂的端部通過滾動軸承連接有旋轉軸，旋轉軸與轉動軸平行；所述轉動軸的外管上設有鏈輪，所述鏈輪通過傳動鏈條與第一伺服電機相連；所述內管的長度大于外管，所述內管的外側面上位于外管以外部分上設有鏈輪，所述鏈輪通過傳動鏈條與第二伺服電機相連。

進一步，所述動力輸出裝置還包括第三伺服電機；所述雙槽溝槽蝕刻機還包括擋霧罩，所述擋霧罩包括一對對稱設置的扇形立面，兩扇形立面之間通過圓弧面相連；所述外管的外側面上兩擺臂的外側各設有套管，扇形立面的頂點設置在套管上；其中一套管上設有鏈輪，所述鏈輪通過鏈條與第三驅動電機相連。設有活動的擋霧罩，可以在酸洗時，有效低地阻擋酸霧向蝕刻機外蔓延并防止酸液外濺。

進一步，所述酸洗槽的側面上設有系吸風孔，所述吸風孔與位于機架頂部的吸風裝置相連。

進一步，所述動力輸出裝置通過電路與PLC可編程邏輯控制器相連，通過PLC可編程邏輯控制器相連控制動力輸出裝置的工作。

進一步，所述酸洗槽和/或水洗槽上設有氣槍，所述氣槍與噴氣裝置相連；所述酸洗槽和/或水洗槽設有噴頭，所述噴頭通過噴管與噴液裝置相連。

進一步，所述酸洗槽的底面為與旋轉籃筐的外側面相適應的弧面。

進一步，所述酸洗槽上設有降溫盤管，所述降溫盤管與冷卻液循環裝置相連。