[發(fā)明專利]具有廣譜終點(diǎn)檢測(cè)窗口的化學(xué)機(jī)械拋光墊以及使用該拋光墊進(jìn)行拋光的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410080909.2
• 申請(qǐng)日: 2014-03-06
• 公開（公告）號(hào): CN104029116B
• 公開（公告）日: 2017-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: A·雷珀;D·B·詹姆士;M·A·洛伊格斯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 羅門哈斯電子材料CMP控股股份有限公司;陶氏環(huán)球技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/24
• 分類號(hào): B24B37/24
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司31100
• 代理人: 江磊

1.一種化學(xué)機(jī)械拋光墊，其包括:

具有拋光表面的拋光層；以及

廣譜終點(diǎn)檢測(cè)窗口塊體，其沿著垂直于所述拋光表面的平面的軸方向上的厚度為T_W；

其中所述廣譜終點(diǎn)檢測(cè)窗口塊體是由環(huán)狀烯烴加成聚合物組成的；其中所述廣譜終點(diǎn)檢測(cè)窗口塊體在其厚度T_W上具有均勻的化學(xué)組成；其中所述廣譜終點(diǎn)檢測(cè)窗口塊體的光譜損失≤40％；以及其中所述拋光表面適于對(duì)選自磁性基材、光學(xué)基材和半導(dǎo)體基材的基材進(jìn)行拋光。

2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械拋光墊，其特征在于，所述廣譜終點(diǎn)檢測(cè)窗口塊體沿著垂直于所述拋光表面的平面的軸方向上的平均厚度T_W-avg為5-75密耳。

3.如權(quán)利要求2所述的化學(xué)機(jī)械拋光墊，其特征在于，所述環(huán)狀烯烴加成聚合物選自環(huán)狀烯烴加成共聚物。

4.如權(quán)利要求3所述的化學(xué)機(jī)械拋光墊，其特征在于，所述環(huán)狀烯烴加成聚合物由至少一種脂環(huán)族單體聚合形成；其中所述至少一種脂環(huán)族單體選自具有橋環(huán)雙鍵的脂環(huán)族單體和具有環(huán)外雙鍵的脂環(huán)族單體。

5.如權(quán)利要求4所述的化學(xué)機(jī)械拋光墊，其特征在于，所述具有橋環(huán)雙鍵的脂環(huán)族單體選自下組：降冰片烯、三環(huán)癸烯、二環(huán)戊二烯、四環(huán)十二碳烯、六環(huán)十七碳烯、三環(huán)十一碳烯、五環(huán)十六碳烯、乙叉降冰片烯、乙烯基降冰片烯、降冰片二烯、烷基降冰片烯、環(huán)戊烯、環(huán)丙烯、環(huán)丁烯、環(huán)己烯、環(huán)戊二烯、環(huán)己二烯、環(huán)辛三烯，以及茚；所述具有環(huán)外雙鍵的脂環(huán)族單體選自乙烯基環(huán)己烯、乙烯基環(huán)己烷、乙烯基環(huán)戊烷、乙烯基環(huán)戊烯。

6.如權(quán)利要求3所述的化學(xué)機(jī)械拋光墊，其特征在于，所述環(huán)狀烯烴加成共聚物由至少一種脂環(huán)族單體和至少一種非環(huán)狀烯烴單體共聚形成。

7.如權(quán)利要求6所述的化學(xué)機(jī)械拋光墊，其特征在于，所述至少一種脂環(huán)族單體選自具有橋環(huán)雙鍵的脂環(huán)族單體和具有環(huán)外雙鍵的脂環(huán)族單體；

其中所述具有橋環(huán)雙鍵的脂環(huán)族單體選自下組：降冰片烯、三環(huán)癸烯、二環(huán)戊二烯、四環(huán)十二碳烯、六環(huán)十七碳烯、三環(huán)十一碳烯、五環(huán)十六碳烯、乙叉降冰片烯、乙烯基降冰片烯、降冰片二烯、烷基降冰片烯、環(huán)戊烯、環(huán)丙烯、環(huán)丁烯、環(huán)己烯、環(huán)戊二烯、環(huán)己二烯、環(huán)辛三烯，以及茚；

其中所述具有環(huán)外雙鍵的脂環(huán)族單體選自乙烯基環(huán)己烯、乙烯基環(huán)己烷、乙烯基環(huán)戊烷和乙烯基環(huán)戊烯；以及

其中，所述至少一種非環(huán)狀烯烴單體選自下組：乙烯、丙烯、1-丁烯、異丁烯、2-丁烯、1-戊烯、1-己烯、1-庚烯、1-辛烯、1-壬烯、1-癸烯、2-甲基-1-丙烯、3-甲基-1-戊烯、4-甲基-1-戊烯、2-丁烯、丁二烯、異戊二烯、1,3-戊二烯、1,4-戊二烯、1,3-己二烯、1,4-己二烯、1,5-己二烯、1,5-庚二烯、1,6-庚二烯、1,6-辛二烯、1,7-辛二烯和1,9-癸二烯。