[發明專利]一種回收藍寶石襯底的方法

有效

• 申請號: 201410079398.2
• 申請日: 2014-02-21
• 公開（公告）號: CN104868020B
• 公開（公告）日: 2018-01-19
• 發明（設計）人: 逯瑤;王志強;王成新;曲爽;李毓鋒
• 申請（專利權）人: 山東浪潮華光光電子股份有限公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種回收藍寶石襯底的方法，其特征在于，該方法包括步驟如下：取廢外延片、第一次高溫烘烤、第一次清洗、第二次高溫烘烤、第二次清洗、循環N個周期；

(1)取廢外延片，

領取廢外延片，核對晶片數目，并檢查晶片是否完整；

(2)第一次高溫烘烤，

將廢外延片放入高溫烘烤爐內進行第一次高溫烘烤，烘烤時間為2-15小時，烘烤溫度為800-1800℃，烘烤室內氣氛為氮氣和氫氣的混合氣，其中，氫氣所占的體積比為0％-20％；

(3)第一次清洗，

經過上述步驟(2)烘烤后的外延片，進行第一次清洗，所述第一次清洗的腐蝕液為濃酸和雙氧水的混合液，濃酸的濃度為70％-98％，濃酸和雙氧水的體積比在1∶10-5∶2之間，腐蝕時間為5-25分鐘；

(4)第二次高溫烘烤，

經過上述步驟(3)第一次清洗后的外延片再放入高溫烘烤爐內進行第二次高溫烘烤，烘烤時間為1-16小時，烘烤溫度為800-2000℃，烘烤室內氣氛為氮氣和氨氣，其中，氨氣所占的體積比為0％-15％；

(5)第二次清洗，

經過步驟(4)第二次高溫烘烤后的外延片，再進行第二次清洗，清洗的腐蝕液為濃酸和雙氧水的混合液以及堿液和雙氧水的混合液，先用腐蝕液為濃酸和雙氧水的混合液清洗，其中濃酸的濃度為75％-98％，濃酸和雙氧水的體積比在2∶15-5∶2之間，腐蝕時間為5-25分鐘；再用堿液和雙氧水的混合液清洗，其中堿液的濃度為57％-89％，堿液和雙氧水的體積比在1∶3-2∶1之間，腐蝕時間不少于2分鐘；

(6)檢驗外延片表面，包括目檢和鏡檢，

對經上述處理的外延片進行形貌檢驗，如果不存在殘留雜質，則分類入庫使用；如果仍存在殘留氮化鎵雜質，則從第一次高溫烘烤或第二次高溫烘烤開始循環重復，直至達到襯底的生長標準。

2.根據權利要求1所述的一種回收藍寶石襯底的方法，其特征在于，所述濃酸包括硫酸、磷酸、硝酸、鹽酸。

3.根據權利要求1所述的一種回收藍寶石襯底的方法，其特征在于，所述回收步驟循環周期數N≥0。