[發(fā)明專利]一種用于太陽能電池的多晶硅的制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410077693.4
• 申請日: 2014-03-04
• 公開（公告）號: CN103818908A
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃道德
• 申請（專利權(quán)）人: 黃道德
• 主分類號: C01B33/037
• 分類號: C01B33/037
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種太陽能電池用的多晶硅除磷工藝，步驟依序如下：

步驟1、將多晶硅料(10)裝入側(cè)壁水平傾斜角為35度的水冷銅坩堝(3)中；

步驟2、先用機(jī)械泵(5)和羅茨泵(6)將真空室(14)抽真空至氣壓為0.5Pa，再用擴(kuò)散泵(7)抽到高真空10^-2Pa以下；

步驟3、給左電子槍(1)、右電子槍(2)高壓功率預(yù)熱6-8分鐘，預(yù)熱高壓功率為30KW，關(guān)閉高壓功率；設(shè)置左電子槍(1)、右電子槍(2)束流為120mA，束流預(yù)熱8分鐘，關(guān)閉左、右電子槍束流；

步驟4、同時(shí)打開左、右電子槍的高壓和束流，穩(wěn)定后用左、右電子槍轟擊多晶硅料，增大左、右電子槍束流到650mA，持續(xù)轟擊使多晶硅料全部熔化；

步驟5、調(diào)節(jié)右電子槍(2)的束流到零，機(jī)械轉(zhuǎn)軸(13)帶動(dòng)水冷銅坩堝(3)向左平移，使水冷銅坩堝(3)中心位于左電子槍正下方，由左電子槍轟擊9分鐘；

步驟6、增大右電子槍(2)的束流到650mA，調(diào)整左電子槍的束流到零，機(jī)械轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)水冷銅坩堝向右平移，使水冷銅坩堝(3)中心位于右電子槍正下方，由右電子槍轟擊9分鐘；

步驟7、旋轉(zhuǎn)機(jī)械轉(zhuǎn)軸，機(jī)械轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)水冷銅坩堝(3)旋轉(zhuǎn)35°，將液態(tài)硅倒入水冷銅容器(4)中后，反向旋轉(zhuǎn)機(jī)械轉(zhuǎn)軸(13)，將水冷銅坩堝(3)歸水平位；

步驟8、再由進(jìn)料口(9)投入多晶硅至水冷銅坩堝(3)中，連續(xù)作業(yè)，重復(fù)4-7步驟；

步驟9、關(guān)閉左、右電子槍；

步驟10、依次關(guān)閉擴(kuò)散泵(7)、羅茨泵(6)、機(jī)械泵(5)待溫度降到250℃時(shí)，打開放氣閥，打開真空裝置蓋(12)從水冷銅容器(4)中取出硅錠。