[發(fā)明專利]一種用于太陽能電池的多晶硅的制造方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410077693.4 | 申請日： | 2014-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN103818908A | 公開（公告）日： | 2014-05-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黃道德 | 申請（專利權(quán)）人： | 黃道德 |
| 主分類號： | C01B33/037 | 分類號： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 322000 浙江省義烏*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 太陽能電池 多晶 制造 方法 | ||
1.一種太陽能電池用的多晶硅除磷工藝，步驟依序如下：
步驟1、將多晶硅料(10)裝入側(cè)壁水平傾斜角為35度的水冷銅坩堝(3)中；
步驟2、先用機(jī)械泵(5)和羅茨泵(6)將真空室(14)抽真空至氣壓為0.5Pa，再用擴(kuò)散泵(7)抽到高真空10-2Pa以下；
步驟3、給左電子槍(1)、右電子槍(2)高壓功率預(yù)熱6-8分鐘，預(yù)熱高壓功率為30KW，關(guān)閉高壓功率；設(shè)置左電子槍(1)、右電子槍(2)束流為120mA，束流預(yù)熱8分鐘，關(guān)閉左、右電子槍束流；
步驟4、同時(shí)打開左、右電子槍的高壓和束流，穩(wěn)定后用左、右電子槍轟擊多晶硅料，增大左、右電子槍束流到650mA，持續(xù)轟擊使多晶硅料全部熔化；
步驟5、調(diào)節(jié)右電子槍(2)的束流到零，機(jī)械轉(zhuǎn)軸(13)帶動水冷銅坩堝(3)向左平移，使水冷銅坩堝(3)中心位于左電子槍正下方，由左電子槍轟擊9分鐘；
步驟6、增大右電子槍(2)的束流到650mA，調(diào)整左電子槍的束流到零，機(jī)械轉(zhuǎn)軸帶動水冷銅坩堝向右平移，使水冷銅坩堝(3)中心位于右電子槍正下方，由右電子槍轟擊9分鐘；
步驟7、旋轉(zhuǎn)機(jī)械轉(zhuǎn)軸，機(jī)械轉(zhuǎn)軸帶動水冷銅坩堝(3)旋轉(zhuǎn)35°，將液態(tài)硅倒入水冷銅容器(4)中后，反向旋轉(zhuǎn)機(jī)械轉(zhuǎn)軸(13)，將水冷銅坩堝(3)歸水平位；
步驟8、再由進(jìn)料口(9)投入多晶硅至水冷銅坩堝(3)中，連續(xù)作業(yè)，重復(fù)4-7步驟；
步驟9、關(guān)閉左、右電子槍；
步驟10、依次關(guān)閉擴(kuò)散泵(7)、羅茨泵(6)、機(jī)械泵(5)待溫度降到250℃時(shí)，打開放氣閥，打開真空裝置蓋(12)從水冷銅容器(4)中取出硅錠。
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