[發明專利]一種用于太陽能電池的多晶硅的除磷工藝無效
| 申請號： | 201410077682.6 | 申請日： | 2014-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN103896276A | 公開（公告）日： | 2014-07-02 |
| 發明（設計）人： | 黃道德 | 申請（專利權）人： | 黃道德 |
| 主分類號： | C01B33/037 | 分類號： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 322000 浙江省義烏*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 太陽能電池 多晶 工藝 | ||
1.一種對用于制造太陽能電池的多晶硅的除磷工藝，步驟依序如下：
步驟1、將多晶硅料(10)裝入側壁水平傾斜角為30-35度的水冷銅坩堝(3)中；
步驟2、先用機械泵(5)和羅茨泵(6)將真空室抽真空至氣壓為0.5Pa，再用擴散泵(7)抽到高真空10-2Pa以下；
步驟3、給左電子槍(1)、右電子槍(2)高壓功率預熱6-8分鐘，預熱高功率為28-30KW，關閉高功率；設置左電子槍(1)、右電子槍(2)束流為100-120mA，束流預熱6-8分鐘，關閉左、右電子槍束流；
步驟4、同時打開左、右電子槍的上述高功率和束流，穩定后用左、右電子槍轟擊多晶硅料，增大左、右電子槍束流到600-650mA，持續轟擊直至多晶硅料全部熔化；
步驟5、調節右電子槍(2)的束流到400mA，調節左電子槍(2)的束流到800mA，機械轉軸帶動水冷銅坩堝向左平移，使水冷銅坩堝中心位于左電子槍正下方，左、右電子槍分別對水冷銅坩堝中心和右側方轟擊5分鐘；
步驟6、增大右電子槍(2)的束流到800mA，調整左電子槍的束流到400mA，機械轉軸帶動水冷銅坩堝向右平移，使水冷銅坩堝中心位于右電子槍正下方，右、左電子槍分別對水冷銅坩堝中心和左側方轟擊5分鐘；
步驟7、旋轉機械轉軸，機械轉軸帶動水冷銅坩堝(3)旋轉30-35°，將液態硅倒入水冷銅容器(4)中后，反向旋轉機械轉軸(17)，將水冷銅坩堝(5)歸位；
步驟8、再由進料口(9)投入多晶硅至水冷銅坩堝(3)中，連續作業，重復4-6步驟；
步驟9、關閉左、右電子槍；
步驟10、依次關閉擴散泵(7)、羅茨泵(6)、機械泵(5)待溫度降到180℃左右時，打開放氣閥，打開真空裝置蓋(12)從水冷銅容器(4)中取出硅錠。
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