[發明專利]一種CaRuO3/La2/3Ca1/3MnO3/CaRuO3三明治結構外延薄膜及其制備方法和應用無效
| 申請號： | 201410077525.5 | 申請日： | 2014-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN103834992A | 公開（公告）日： | 2014-06-04 |
| 發明（設計）人： | 吳文彬;諶平凡;陳斌斌 | 申請（專利權）人： | 中國科學技術大學 |
| 主分類號： | C30B23/02 | 分類號： | C30B23/02;C30B30/00;C23C14/28;C23C14/08;H01F10/18 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安專利代理有限責任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230026 安*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 caruo sub la ca mno 三明治 結構 外延 薄膜 及其 制備 方法 應用 | ||
1.一種CaRuO3/La2/3Ca1/3MnO3/CaRuO3三明治結構外延薄膜，其特征在于：
在晶格取向為110方向的NdGaO3單晶基片上從下至上依次生長有底層CaRuO3薄膜、中間層La2/3Ca1/3MnO3薄膜和上層CaRuO3薄膜。
2.根據權利要求1所述的CaRuO3/La2/3Ca1/3MnO3/CaRuO3三明治結構外延薄膜，其特征在于：所述NdGaO3單晶基片的厚度為0.3-0.5mm；所述底層CaRuO3薄膜的厚度為1.6-12.8nm；所述中間層La2/3Ca1/3MnO3薄膜的厚度為1.6-4.8納米；所述上層CaRuO3薄膜的厚度為2.4-6.4nm。
3.一種權利要求1、2或3所述的CaRuO3/La2/3Ca1/3MnO3/CaRuO3三明治結構外延薄膜的制備方法，其特征在于：首先依次通過脈沖激光沉積的方法，在晶格取向為110方向的NdGaO3單晶基片上依次生長底層CaRuO3薄膜、中間層La2/3Ca1/3MnO3薄膜和上層CaRuO3薄膜，然后進行原位退火，最后降至室溫，即得所述的CaRuO3/La2/3Ca1/3MnO3/CaRuO3三明治結構外延薄膜。
4.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于：所述脈沖激光沉積的方法的條件為：脈沖激光打在靶材上的能量密度為1.5-2.5J/cm2；沉積的氣氛為氧氣氣氛；沉積的壓強為20-60Pa；沉積的溫度為680-735℃；
所述原位退火的條件為：原位退火的溫度為680-735℃，原位退火的時間為5-20分鐘，原位退火的氧壓為20-60Pa；
所述降至室溫的條件為：從原位退火的溫度降至400℃的氧壓為20-60Pa，從400℃降至室溫的氧壓為1500-5000Pa。
5.根據權利要求3或4所述的制備方法，其特征在于：通過脈沖激光沉積的方法生長中間層La2/3Ca1/3MnO3薄膜時，所用的La2/3Ca1/3MnO3靶材按如下步驟進行制備：將CaO、MnO2和La2O3粉末按照其中Ca元素、Mn元素和La元素的化學摩爾比為1：3：2混勻，依次進行預燒、壓靶和煅燒后，即得所述La2/3Ca1/3MnO3靶材。
6.根據權利要求5所述的制備方法，其特征在于：
所述預燒的方法為：預燒的次數為三次，且都在空氣氣氛下預燒；首先在1100℃預燒12h，然后在1200℃預燒12h，最后再在1300℃預燒12h；
所述壓靶是在40MPa壓強下壓成圓形靶片；
所述煅燒的溫度為1320-1380℃，煅燒的時間為18-24小時。
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