[發明專利]一種蝕刻藥水添加方法、裝置及系統

有效

• 申請號: 201410077485.4
• 申請日: 2014-03-04
• 公開（公告）號: CN104902688B
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發明（設計）人: 陳德和
• 申請（專利權）人: 宇宙電路板設備（深圳）有限公司
• 主分類號: H05K3/06
• 分類號: H05K3/06;C23F1/08
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 張全文

1.一種蝕刻藥水添加方法，其特征在于，包括：

獲取蝕刻藥水中的比重當前值、鹽酸當前值、氧化劑當前值，其中，所述比重當前值、鹽酸當前值、氧化劑當前值由同一接口獲得；

將所述比重當前值與預設的比重目標值相比較，生成兩者之間的第一差值，

將所述鹽酸當前值與預設的鹽酸目標值相比較，生成兩者之間的第二差值，

將所述氧化劑當前值與預設的氧化劑目標值相比較，生成兩者之間的第三差值；

在預先建立的對應表中，獲取生成的第一差值、第二差值、第三差值分別對應的第一添加比例、第二添加比例、第三添加比例；

將所述第一添加比例、第二添加比例、第三添加比例與預設的添加周期分別相乘，生成第一添加時間、第二添加時間、第三添加時間；

根據生成的第一添加時間、第二添加時間、第三添加時間，分別添加清水、鹽酸、氧化劑；

其中，比重當前值為比重監測器當前檢測到的蝕刻藥水的密度與清水的密度的比值，鹽酸當前值為鹽酸監測器當前檢測到的導電率的電流值轉換生成的數值，氧化劑當前值為氧化劑監測器當前檢測到的氧化還原反應的電壓值轉換生成的數值；

其中，對應表中存儲了差值與添加比例之間的對應關系；

其中，所述氧化劑包括氯酸鈉或雙氧水。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述比重目標值包括不同的生產線對應的不同比重目標值和不同配方對應的不同比重目標值中的至少一種，所述鹽酸目標值包括不同的生產線對應的不同鹽酸目標值和不同配方對應的不同鹽酸目標值中的至少一種，所述氧化劑目標值包括不同的生產線對應的不同氧化劑目標值和不同配方對應的不同氧化劑目標值中的至少一種。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，當所述比重目標值包括不同配方對應的不同比重目標值時，當所述鹽酸目標值包括不同配方對應的不同鹽酸目標值時，當所述氧化劑目標值包括不同配方對應的不同氧化劑目標值時，分別將所述比重當前值、鹽酸當前值、氧化劑當前值與預設的比重目標值、鹽酸目標值、氧化劑目標值相比較，生成兩者之間的差值時，包括：

獲取實時生產的配方；

將所述比重當前值與所述配方中的比重目標值相比較，生成所述比重當前值與所述配方對應的比重目標值之間的第一差值；

將所述鹽酸當前值與所述配方中的鹽酸目標值相比較，生成所述鹽酸當前值與所述配方對應的鹽酸目標值之間的第二差值；

將所述氧化劑當前值與所述配方中的氧化劑目標值相比較，生成所述氧化劑當前值與所述配方對應的氧化劑目標值之間的第三差值。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，根據生成的第一添加時間、第二添加時間、第三添加時間，分別添加清水、鹽酸、氧化劑，具體為：

根據生成的第一添加時間，控制輸出至第一定量泵的PWM脈沖，控制添加周期內接入清水的所述第一定量泵開啟或控制添加周期內接入清水的電磁閥開啟，以添加所述清水；

根據生成的第二添加時間，控制輸出至第二定量泵的PWM脈沖，控制添加周期內裝載鹽酸的所述第二定量泵開啟，以添加所述鹽酸；

根據生成的第三添加時間，控制輸出至第三定量泵的PWM脈沖，控制添加周期內裝載氧化劑的所述第三定量泵開啟，以添加所述氧化劑。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：

實時檢測環境信息，所述環境信息包括停機信息、停泵信息、生產信息、入板信息、傳感器信息、溫度信息中的一種或其組合；

判斷所述環境信息是否滿足預設環境異常條件，所述環境異常條件包括停機異常、停泵異常、停止生產異常、缺板異常、傳感器異常、溫度異常中的一種或其組合；

若是，停止添加子液，并輸出報警訊號。