[發(fā)明專利]感光性樹脂組合物及其應(yīng)用

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410076502.2
• 申請日: 2014-03-04
• 公開（公告）號: CN104035277A
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蔡宇杰
• 申請（專利權(quán)）人: 奇美實業(yè)股份有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/027;G02F1/1333
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 韓蕾

1.一種感光性樹脂組合物，其包含：

堿可溶性樹脂(A)；

含乙烯性不飽和基的化合物(B)；

光起始劑(C)；及

溶劑(D)；

其中，該含乙烯性不飽和基的化合物(B)包含二惡烷類不飽和化合物(B-1)及下述結(jié)構(gòu)式(2)所示的異氰脲酸酯類不飽和化合物(B-2)，且該二惡烷類不飽和化合物(B-1)與該異氰脲酸酯類不飽和化合物(B-2)的使用量重量比(B-1)/(B-2)自0.05至15；其中，該二惡烷類不飽和化合物(B-1)包含如下結(jié)構(gòu)式(1-1)所示的具1，3-二惡烷骨架的二惡烷類不飽和化合物及/或如下結(jié)構(gòu)式(1-2)所示的具1，3-二惡戊烷骨架的二惡烷類不飽和化合物：

其中：

結(jié)構(gòu)式(1-1)中，R¹至R⁸各自獨立代表氫原子或烴基，且R¹至R⁸中至少一個在其端部包含乙烯性不飽和基作為取代基；結(jié)構(gòu)式(1-2)中，R¹至R⁶各自獨立代表氫原子或烴基，且R¹至R⁶中至少一個在其端部包含乙烯性不飽和基作為取代基；

其中：

X¹、X²及X³各自獨立代表氫原子、(甲基)丙烯酰基或具有1至20個碳原子的烴基；且X¹、X²及X³中至少兩個為(甲基)丙烯酰基；及

R⁹、R¹⁰及R¹¹各自獨立代表氧亞烷基。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的感光性樹脂組合物，其中，該堿可溶性樹脂(A)包含堿可溶性樹脂(A-1)，該堿可溶性樹脂(A-1)是由不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)、含環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)及/或其他不飽和化合物(a3)所共聚合而得。

3.根據(jù)權(quán)利要求1的感光性樹脂組合物，其中，該光起始劑(C)包含O-酰基肟類化合物(C-1)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3的感光性樹脂組合物，其中，該O-酰基肟類化合物(C-1)包含由下述結(jié)構(gòu)式(3)所示的硫代O-酰基肟類化合物(C-1-1)：

其中：

X⁴及X⁵各自獨立代表氫原子、具有1至12個碳原子數(shù)的環(huán)狀、直鏈狀或支鏈狀的烷基或芳基，且該烷基或芳基為未經(jīng)取代或經(jīng)取代基取代，該取代基選自由鹵素原子、具有1至6個碳原子數(shù)的烷氧基及芳基所組成的群；

X⁶及X⁷各自獨立代表鹵素原子、具有1至12個碳原子數(shù)的烷基、環(huán)戊基、環(huán)己基、苯基、芐基、苯甲酰基、具有2至12個碳原子數(shù)的烷酰基、具有2至12個碳原子數(shù)的烷氧羰基、或苯氧基羰基；及

p1及p2獨立代表0至5的整數(shù)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1的感光性樹脂組合物，其中，基于該堿可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份，該含乙烯性不飽和基的化合物(B)的使用量為20至150重量份；該二惡烷類不飽和化合物(B-1)的使用量為10至140重量份；該異氰脲酸酯類不飽和化合物(B-2)的使用量為10至140重量份；該溶劑(D)的使用量為500至2000重量份。

6.根據(jù)權(quán)利要求1的感光性樹脂組合物，其中，基于該含乙烯性不飽和基的化合物(B)的使用量為100重量份，該光起始劑(C)的使用量為1至15重量份。

7.根據(jù)權(quán)利要求3的感光性樹脂組合物，其中，基于該含乙烯性不飽和基的化合物(B)的使用量為100重量份，該O-酰基肟類化合物(C-1)的使用量為1至12重量份。

8.根據(jù)權(quán)利要求4的感光性樹脂組合物，其中，基于該含乙烯性不飽和基的化合物(B)的使用量為100重量份，該硫代O-酰基肟類化合物(C-1-1)的使用量為1至10重量份。

9.一種于基板上形成薄膜的方法，其包含使用根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項的感光性樹脂組合物施予該基板上。

10.一種基板上的薄膜，其由權(quán)利要求9的方法所制得。