[發(fā)明專利]一種監(jiān)控晶圓加工機(jī)臺(tái)生產(chǎn)效率的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410075878.1
• 申請(qǐng)日: 2014-03-04
• 公開（公告）號(hào): CN104900549A
• 公開（公告）日: 2015-09-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅杰;高峰;孫洪福
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 上海信好專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31249
• 代理人: 張靜潔;包姝晴

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種監(jiān)控晶圓加工機(jī)臺(tái)生產(chǎn)效率的方法。

背景技術(shù)

工藝室晶圓加工過程中有時(shí)會(huì)出現(xiàn)晶圓閑置，此時(shí)工藝室未給出警告和提示，導(dǎo)致產(chǎn)率下降。在加工特殊產(chǎn)品時(shí)，由于狹小的窗口工藝導(dǎo)致部分晶圓報(bào)廢。

如圖1所示，晶圓加工機(jī)臺(tái)的整體結(jié)構(gòu)示意圖，機(jī)臺(tái)上方為制程腔1，制程腔1下方包含傳輸室2，傳輸室2內(nèi)中間部位設(shè)置傳輸機(jī)器人21，下方設(shè)置冷卻站22，傳輸室2外兩側(cè)分別設(shè)置左承載室3和右承載室4，左右承載室內(nèi)分別包含一個(gè)索引機(jī)器人31和41，左右承載室的下方分別設(shè)置左右穿梭腔5和6，左承載室5內(nèi)設(shè)置暗盒51，晶圓由暗盒51輸入。

由圖2中看出一個(gè)批次的晶圓處理時(shí)間=沉積時(shí)間×6+晶圓索引器旋轉(zhuǎn)時(shí)間×6+晶圓更換時(shí)間×5。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種監(jiān)控晶圓加工機(jī)臺(tái)生產(chǎn)效率的方法，通過監(jiān)控晶圓加工時(shí)間計(jì)算工藝室中晶圓閑置率，可監(jiān)控晶圓處理效率，成本低。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：一種監(jiān)控晶圓加工機(jī)臺(tái)生產(chǎn)效率的方法，其特點(diǎn)是，包含以下步驟：

步驟1、設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)計(jì)算晶圓處理過程時(shí)間；

步驟2、設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)根據(jù)晶圓處理過程時(shí)間建立晶圓處理過程時(shí)間表和控制界線；

步驟3、控制界線系統(tǒng)根據(jù)處理過程時(shí)間表控制晶量產(chǎn)出量。

所述的步驟1包含：

步驟1.1、設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)記錄機(jī)臺(tái)發(fā)送數(shù)字信號(hào)，所述的數(shù)字信號(hào)允許晶圓進(jìn)入制程腔的時(shí)間點(diǎn)、晶圓批次編號(hào)及晶圓序號(hào)；

步驟1.2、設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)記錄機(jī)臺(tái)發(fā)送數(shù)字信號(hào)，所述的數(shù)字信號(hào)允許晶圓退出制程腔的時(shí)間點(diǎn)、晶圓批次編號(hào)及晶圓序號(hào)；

步驟1.3、設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)根據(jù)步驟1.1和步驟1.2的兩個(gè)時(shí)間點(diǎn)計(jì)算出晶圓處在制程腔的時(shí)間，即晶圓處理過程時(shí)間。

所述的步驟3進(jìn)一步包含：晶量產(chǎn)出量低于控制界線時(shí)，控制界線系統(tǒng)發(fā)出警告。

本發(fā)明一種監(jiān)控晶圓加工機(jī)臺(tái)生產(chǎn)效率的方法與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)：通過監(jiān)控晶圓加工時(shí)間計(jì)算工藝室中晶圓閑置率，可監(jiān)控晶圓處理效率，成本低；晶圓處理過程時(shí)間表能夠反映晶圓的處理效率，便于控制晶量產(chǎn)出量，使得機(jī)臺(tái)各部分協(xié)調(diào)合作以提高生產(chǎn)效率；基于自動(dòng)化設(shè)備系統(tǒng)易于建立；產(chǎn)率低時(shí)發(fā)出警告，便于管理員控制。

附圖說明

圖1為晶圓加工機(jī)臺(tái)的整體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為一個(gè)批次的晶圓處理時(shí)間示意圖。

圖3為本發(fā)明一種監(jiān)控晶圓加工機(jī)臺(tái)生產(chǎn)效率的方法。

圖4為晶圓處理過程時(shí)間表。

圖5為本發(fā)明實(shí)施例效果圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖，通過詳細(xì)說明一個(gè)較佳的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步闡述。

如圖3所示，一種監(jiān)控晶圓加工機(jī)臺(tái)生產(chǎn)效率的方法，包含以下步驟：

步驟1、設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)（EAP）計(jì)算晶圓處理過程時(shí)間；

步驟1.1、設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)（EAP）記錄機(jī)臺(tái)發(fā)送數(shù)字信號(hào)，所述的數(shù)字信號(hào)允許晶圓進(jìn)入制程腔的時(shí)間點(diǎn)、晶圓批次編號(hào)及晶圓序號(hào)；

步驟1.2、設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)（EAP）記錄機(jī)臺(tái)發(fā)送數(shù)字信號(hào)，所述的數(shù)字信號(hào)允許晶圓退出制程腔的時(shí)間點(diǎn)、晶圓批次編號(hào)及晶圓序號(hào)；

步驟1.3、設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)（EAP）根據(jù)步驟1.1和步驟1.2的兩個(gè)時(shí)間點(diǎn)計(jì)算出晶圓處在制程腔的時(shí)間，即晶圓處理過程時(shí)間；

步驟2、設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)（EAP）根據(jù)晶圓處理過程時(shí)間建立晶圓處理過程時(shí)間表和控制界線；

步驟3、控制界線系統(tǒng)（OOC）根據(jù)處理過程時(shí)間表控制晶量產(chǎn)出量，晶量產(chǎn)出量低于控制界線時(shí)，控制界線系統(tǒng)發(fā)出警告。

具體應(yīng)用：索引機(jī)器人31將晶圓由暗盒51傳輸至左承載室5內(nèi)，傳輸機(jī)器人21將晶圓由左承載室5經(jīng)過傳輸室2傳輸至制程腔1進(jìn)行加工處理。一個(gè)批次處理6個(gè)晶圓，由圖1及圖2可知，一個(gè)批次的晶圓處理時(shí)間=沉積時(shí)間×6+晶圓索引器旋轉(zhuǎn)時(shí)間×6+晶圓更換時(shí)間×5。

由圖4晶圓處理過程時(shí)間表機(jī)臺(tái)發(fā)送數(shù)字信號(hào)時(shí)，EAP對(duì)該信號(hào)進(jìn)行截獲，從而獲得晶圓進(jìn)出制程腔1的時(shí)間點(diǎn)，從而EAP通過計(jì)算獲得晶圓處在制程腔1的時(shí)間，也即晶圓在制程腔體處理過程時(shí)間，此時(shí)間反應(yīng)晶圓處理效率，有效判斷晶圓閑置，EAP設(shè)定控制界線，OOC會(huì)根據(jù)此界限，當(dāng)晶圓產(chǎn)出量低時(shí)，通過發(fā)送警告信息提示管理人員。