[發(fā)明專利]新型電化學(xué)拋光裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410074980.X
• 申請(qǐng)日: 2014-03-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104894634A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-09-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賈照偉;王堅(jiān);王暉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司
• 主分類號(hào): C25F3/12
• 分類號(hào): C25F3/12
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 陸勍

1.一種新型電化學(xué)拋光裝置，其特征在于，包括：

晶圓夾盤(pán)，所述晶圓夾盤(pán)夾持晶圓，晶圓表面分布有金屬層；

電解液供應(yīng)裝置，所述電解液供應(yīng)裝置包括噴嘴，所述噴嘴向晶圓表面的金屬層噴射電解液；及

拋光電源回路構(gòu)成裝置，所述拋光電源回路構(gòu)成裝置包括拋光盤(pán)及電源，所述拋光盤(pán)由導(dǎo)電材料制成，拋光盤(pán)的底面與晶圓表面平行布置，拋光盤(pán)與所述噴嘴同步移動(dòng)，所述電源的陽(yáng)極與晶圓夾盤(pán)電連接，所述電源的陰極與拋光盤(pán)電連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型電化學(xué)拋光裝置，其特征在于，電化學(xué)拋光時(shí)，所述拋光盤(pán)與晶圓表面的金屬層之間間隔一預(yù)定距離。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的新型電化學(xué)拋光裝置，其特征在于，所述預(yù)定距離在0mm到10mm之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型電化學(xué)拋光裝置，其特征在于，電化學(xué)拋光時(shí)，所述拋光盤(pán)與晶圓表面的金屬層接觸。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型電化學(xué)拋光裝置，其特征在于，所述噴嘴鄰近于所述拋光盤(pán)的邊緣布置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型電化學(xué)拋光裝置，其特征在于，所述拋光盤(pán)的中心開(kāi)設(shè)有通孔，所述噴嘴收容于該通孔中。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型電化學(xué)拋光裝置，其特征在于，所述拋光盤(pán)的底面開(kāi)設(shè)有網(wǎng)格狀的溝槽或開(kāi)設(shè)有由中心向外發(fā)散的溝槽。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型電化學(xué)拋光裝置，其特征在于，所述拋光盤(pán)繞其自身的中心軸旋轉(zhuǎn)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型電化學(xué)拋光裝置，其特征在于，所述電解液供應(yīng)裝置還包括電解液供應(yīng)管道，電解液供應(yīng)管道具有旋轉(zhuǎn)端和與旋轉(zhuǎn)端相對(duì)的末端，電解液供應(yīng)管道能夠繞電解液供應(yīng)管道的旋轉(zhuǎn)端轉(zhuǎn)動(dòng)，所述噴嘴設(shè)置在電解液供應(yīng)管道的末端，所述拋光電源回路構(gòu)成裝置還包括旋轉(zhuǎn)擺臂，旋轉(zhuǎn)擺臂具有旋轉(zhuǎn)端和與旋轉(zhuǎn)端相對(duì)的末端，旋轉(zhuǎn)擺臂能夠繞旋轉(zhuǎn)擺臂的旋轉(zhuǎn)端轉(zhuǎn)動(dòng)，所述拋光盤(pán)設(shè)置在旋轉(zhuǎn)擺臂的末端，旋轉(zhuǎn)擺臂的旋轉(zhuǎn)端和電解液供應(yīng)管道的旋轉(zhuǎn)端與一致動(dòng)器連接，致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)擺臂和電解液供應(yīng)管道同步擺動(dòng)以帶動(dòng)拋光盤(pán)和噴嘴同步移動(dòng)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的新型電化學(xué)拋光裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)擺臂和電解液供應(yīng)管道集成在一個(gè)擺軸中，擺軸與致動(dòng)器連接，致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)擺軸轉(zhuǎn)動(dòng)以帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)擺臂和電解液供應(yīng)管道同步轉(zhuǎn)動(dòng)。