[發明專利]一種二維納米尺度光子晶體力傳感器有效
| 申請號： | 201410074823.9 | 申請日： | 2014-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN103837274A | 公開（公告）日： | 2014-06-04 |
| 發明（設計）人： | 李隆球;張廣玉;李天龍;紀鳳同 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | G01L1/24 | 分類號： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109 | 代理人： | 張宏威 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 二維 納米 尺度 光子 晶體 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種二維納米尺度光子晶體力傳感器，其特征在于，它包括一號微懸臂梁傳感器（1）、二號微懸臂梁傳感器（2）和納米諧振腔（3），所述一號微懸臂梁傳感器（1）和二號微懸臂梁傳感器（2）的結構相同，所述一號微懸臂梁傳感器（1）為長方體的平板結構，該平板結構的正面嵌有相互平行的兩條納米諧振腔（3），所述納米諧振腔（3）平行于所述平板結構的短邊；在所述兩條納米諧振腔（3）與所述平板結構的末端之間的背面設置有凸起的基座（12）；
二號微懸臂梁傳感器（2）位于三維直角坐標系的XOZ平面上，且基座位于Y軸負方向，一號微懸臂梁傳感器（1）位于三維直角坐標系的YOZ平面上，且一號微懸臂梁傳感器（1）的基座位于X軸負方向，所述一號微懸臂梁傳感器（1）位于二號微懸臂梁傳感器（2）兩條短邊的中心連線上，且一號微懸臂梁傳感器（1）一個側面與二號微懸臂梁傳感器（2）首端側面位于同一平面內。
2.根據權利要求1所述的一種二維納米尺度光子晶體力傳感器，其特征在于，納米諧振腔（3）的形狀為帶狀。
3.根據權利要求1所述的一種二維納米尺度光子晶體力傳感器，其特征在于，一號微懸臂梁傳感器（1）上的兩條納米諧振腔（3）的長度與所述一號微懸臂梁傳感器（1）的寬度相等。
4.根據權利要求1所述的一種二維納米尺度光子晶體力傳感器，其特征在于，所述納米諧振腔（3）為二維光子晶體。
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