[發明專利]復合基板及其制造方法、柔性顯示裝置及其制造方法有效
| 申請號: | 201410074714.7 | 申請日: | 2014-03-03 |
| 公開(公告)號: | CN103956363A | 公開(公告)日: | 2014-07-30 |
| 發明(設計)人: | 謝再鋒 | 申請(專利權)人: | 上海天馬有機發光顯示技術有限公司;天馬微電子股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/12 | 分類號: | H01L27/12;H01L21/02;B32B33/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 201201 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 復合 及其 制造 方法 柔性 顯示裝置 | ||
技術領域
本發明涉及顯示領域,特別是涉及一種復合基板、包含該復合基板中柔性基板的柔性顯示裝置,以及該復合基板和柔性顯示裝置的制造方法。
背景技術
隨著科技的發展與社會的進步,多媒體裝置在日常生活中得到越來越廣泛的應用。各種平板顯示裝置如液晶顯示器(LCD,Liquid?Crystal?Display)、等離子體顯示器(PDP,Plasma?Display?Panel)、有機發光二極管顯示裝置(OLED,Organic?Light-Emitting?Diode)、電泳顯示器(EPD,Electrophoretic?Display)等在生活中得到了大量的應用。
而在這些顯示裝置大量運用的基礎上,類似于紙張的柔性顯示裝置,由于能夠被彎曲,具備良好的便攜性,被認為是下一代的顯示裝置。
柔性顯示裝置通過在柔性基板上形成若干個顯示元件來制造,通常在制造過程中需要先將柔性基板通過粘結劑貼合到一個剛性基板上,使得柔性基板在后續的制程中保持良好的平整度。在各種后續制程完成后,再將柔性基板從剛性基板上分量,從而完成柔性顯示裝置的制備。
圖1是傳統柔性顯示裝置的制備流程圖。
請參照圖1,首先提供一剛性基板S11,為了制造柔性顯示裝置,在剛性基板上形成粘結層S12,接著在粘結層上沉積形成或帖附一層柔性基板S13,在柔性基板表面上形成顯示元件S14,最后將剛性基板與柔性基板進行分離S15,由此完成柔性顯示器的制造。
然而,在傳統柔性顯示器制備過程中,由于采用聚對二甲苯等傳統有機粘結劑,該類材料在后續顯示元件制備過程中,由于制程溫度影響,材料的穩定性下降,產生鼓氣現象,影響柔性基板平整度。
發明內容
有鑒于此,本發明提供一種復合基板以及該復合基板的制造方法,并提供包含該復合基板中柔性基板的柔性顯示裝置,以及該柔性顯示裝置的制造方法。
本發明提供了一種復合基板,包括:剛性基板,具有第一表面;柔性基板,設置在所述剛性基板上,具有與所述剛性基板的第一表面相對的第二表面;離型層,位于所述剛性基板與所述柔性基板之間,所述離型層包含一化學元素,所述化學元素位于元素周期表第四主族或第二副族;所述剛性基板的第一表面以及所述柔性基板的第二表面與所述離型層的化學元素之間形成有化學鍵。
本發明還提供一種復合基板的制備方法,包括以下步驟:提供一剛性基板,具有第一表面;提供一柔性基板,具有第二表面;對所述剛性基板的第一表面進行活化;對所述柔性基板的第二表面進行活化;在所述剛性基板的第一表面與所述柔性基板的第二表面的至少一個表面上形成離型層,所述離型層包含一化學元素,該元素位于元素周期表第四主族或第二副族;將所述剛性基板與所述柔性基板進行壓合,所述第一表面與所述第二表面相對。
本發明還提供一種柔性顯示裝置,包括:柔性基板,具有第二表面以及與第二表面相背的第三表面;基團層,位于所述柔性基板的第二表面,所述基團層包含一化學元素,所述化學元素位于元素周期表第四主族或第二副族;所述柔性基板的第二表面與所述基團層的化學元素之間形成有化學鍵;顯示元件,位于所述柔性基板的第三表面。
本發明還提供一種柔性顯示裝置的制備方法,包括以下步驟:提供一剛性基板,具有第一表面;提供一柔性基板,具有第二表面與第三表面,所述第三表面與所述第三表面相背;對所述剛性基板的第一表面進行活化;對所述柔性基板的第二表面進行活化;在所述剛性基板的第一表面與所述柔性基板的第二表面的至少一個表面上形成離型層,所述離型層包含一化學元素,該元素位于元素周期表第四主族或第二副族;將所述剛性基板與所述柔性基板進行壓合,所述第一表面與所述第二表面相對;在所述柔性基板的第三表面形成顯示元件;分離所述柔性基板與所述剛性基板,分離后所述柔性基板的第二表面保留有基團層,所述基團層包含一化學元素,所述化學元素位于元素周期表第四主族或第二副族,所述柔性基板的第二表面與所述基團層的化學元素之間形成有化學鍵。
與現有技術相比,本發明至少具有如下突出的優點之一:
本發明的離型層材料與柔性基板和剛性基板之間分別以化學鍵的形式進行結合,粘合力強度高達12MPa,且該化學鍵在高溫狀態下不易斷裂,在后續顯示元件制程中不會出現鼓氣現象,使得柔性基板在整個制程中保持平整的狀態。更優地,本發明的柔性顯示裝置中,柔性基板還包含一基團層,可以提高顯示裝置的水汽阻隔能力,提高了產品良率,延長產品的使用壽命。
附圖說明
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





