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[發(fā)明專利]液體噴射頭、液體噴射裝置、壓電元件及其制造方法有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201410074687.3 申請(qǐng)日: 2014-03-03
公開(公告)號(hào): CN104029486A 公開(公告)日: 2014-09-10
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 古谷升 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 精工愛普生株式會(huì)社
主分類號(hào): B41J2/045 分類號(hào): B41J2/045;H01L41/09;H01L41/27
代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 代理人: 舒艷君;李洋
地址: 日本*** 國(guó)省代碼: 日本;JP
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 液體 噴射 裝置 壓電 元件 及其 制造 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種液體噴射頭,其特征在于,

具備:

流路形成基板,其具有與噴射液體的噴嘴開口連通的壓力產(chǎn)生室;以及

壓電元件,其設(shè)置于該流路形成基板且具備壓電體層、電極和與該電極連接的布線層,

所述布線層具備:

第一層,其通過預(yù)處理形成且含有鈀;以及

第二層,其通過非電解鍍形成于該第一層上且含有鎳。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體噴射頭,其特征在于,還具備:

第三層,其通過非電解鍍形成于所述第二層上且含有鈀;

第四層,其通過非電解鍍形成于該第三層上且含有金。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液體噴射頭,其特征在于,

所述電極具有設(shè)置于所述流路形成基板側(cè)的第一電極、以及設(shè)置于所述壓電體層的與所述流路形成基板相反一側(cè)的第二電極。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體噴射頭,其特征在于,

所述第一電極是按每個(gè)實(shí)際驅(qū)動(dòng)部亦即能動(dòng)部電獨(dú)立地設(shè)置的獨(dú)立電極,并且所述第二電極是遍及多個(gè)所述能動(dòng)部電共用地設(shè)置的共用電極。

5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的液體噴射頭,其特征在于,

形成所述第一層的所述預(yù)處理用浸漬法。

6.一種液體噴射裝置,其特征在于,

具備權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的液體噴射頭。

7.一種壓電元件,其特征在于,

具備壓電體層、電極、和與該電極連接的布線層,

所述布線層具備:

第一層,其通過預(yù)處理形成且含有鈀;以及

第二層,其通過非電解鍍形成于該第一層上且含有鎳。

8.一種壓電元件的制造方法,其特征在于,該壓電元件具備壓電體層、電極、和與該電極連接的布線層,

所述壓電元件的制造方法具備:

形成在露出的所述電極的至少形成有布線層的區(qū)域具有開口部的掩模的工序;

通過預(yù)處理形成含有鈀的第一層的工序;

除去所述掩模的工序;以及

在所述第一層上通過非電解鍍形成含有鎳的第二層的工序。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓電元件的制造方法,其特征在于,

還具備:

在形成所述第二層的工序之后,在所述第二層上通過非電解鍍形成含有鈀的第三層的工序;以及

在所述第三層上通過非電解鍍形成含有金的第四層的工序。

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說明:

1、專利原文基于中國(guó)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

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