[發(fā)明專(zhuān)利]液體噴射頭、液體噴射裝置、壓電元件及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410074687.3
• 申請(qǐng)日: 2014-03-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104029486A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 古谷升
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 精工愛(ài)普生株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): B41J2/045
• 分類(lèi)號(hào): B41J2/045;H01L41/09;H01L41/27
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;李洋

1.一種液體噴射頭，其特征在于，

具備：

流路形成基板，其具有與噴射液體的噴嘴開(kāi)口連通的壓力產(chǎn)生室；以及

壓電元件，其設(shè)置于該流路形成基板且具備壓電體層、電極和與該電極連接的布線層，

所述布線層具備：

第一層，其通過(guò)預(yù)處理形成且含有鈀；以及

第二層，其通過(guò)非電解鍍形成于該第一層上且含有鎳。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體噴射頭，其特征在于，還具備：

第三層，其通過(guò)非電解鍍形成于所述第二層上且含有鈀；

第四層，其通過(guò)非電解鍍形成于該第三層上且含有金。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液體噴射頭，其特征在于，

所述電極具有設(shè)置于所述流路形成基板側(cè)的第一電極、以及設(shè)置于所述壓電體層的與所述流路形成基板相反一側(cè)的第二電極。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體噴射頭，其特征在于，

所述第一電極是按每個(gè)實(shí)際驅(qū)動(dòng)部亦即能動(dòng)部電獨(dú)立地設(shè)置的獨(dú)立電極，并且所述第二電極是遍及多個(gè)所述能動(dòng)部電共用地設(shè)置的共用電極。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的液體噴射頭，其特征在于，

形成所述第一層的所述預(yù)處理用浸漬法。

6.一種液體噴射裝置，其特征在于，

具備權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的液體噴射頭。

7.一種壓電元件，其特征在于，

具備壓電體層、電極、和與該電極連接的布線層，

所述布線層具備：

第一層，其通過(guò)預(yù)處理形成且含有鈀；以及

第二層，其通過(guò)非電解鍍形成于該第一層上且含有鎳。

8.一種壓電元件的制造方法，其特征在于，該壓電元件具備壓電體層、電極、和與該電極連接的布線層，

所述壓電元件的制造方法具備：

形成在露出的所述電極的至少形成有布線層的區(qū)域具有開(kāi)口部的掩模的工序；

通過(guò)預(yù)處理形成含有鈀的第一層的工序；

除去所述掩模的工序；以及

在所述第一層上通過(guò)非電解鍍形成含有鎳的第二層的工序。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓電元件的制造方法，其特征在于，

還具備：

在形成所述第二層的工序之后，在所述第二層上通過(guò)非電解鍍形成含有鈀的第三層的工序；以及

在所述第三層上通過(guò)非電解鍍形成含有金的第四層的工序。