[發明專利]用于對數碼顯微鏡進行測量校準的校準板及其使用方法

有效

• 申請號: 201410074532.X
• 申請日: 2014-03-03
• 公開（公告）號: CN104897051B
• 公開（公告）日: 2019-01-11
• 發明（設計）人: 李仲禹;王明思;顧海磊
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 萬柳軍;吳鵬

1.一種用于對數碼顯微鏡中在顯微鏡圖像上對標本實施的尺寸測量進行測量校準的校準板，所述校準板包括至少一個形成有表面構造的校準區，所述表面構造包括周期性地排布的多個格子單元，其中，每個格子單元的邊界的至少一部分和/或頂點的至少一部分能夠由所述數碼顯微鏡的光學成像系統識別出。

2.根據權利要求1所述的校準板，其特征在于，各個格子單元的大小和形狀相同。

3.根據權利要求2所述的校準板，其特征在于，各個格子單元都呈正方形。

4.根據權利要求3所述的校準板，其特征在于，所述多個格子單元以國際象棋棋盤的樣式排布。

5.據權利要求1所述的校準板，其特征在于，所述多個格子單元為在一維方向上分布的條紋。

6.根據權利要求1所述的校準板，其特征在于，每個格子單元的能夠由所述數碼顯微鏡的光學成像系統識別出的所述邊界的至少一部分的兩側具有互不相同的反射率。

7.根據權利要求6所述的校準板，其特征在于，每個格子單元的整體和與其鄰接的區域或與其鄰接的格子單元具有互不相同的反射率。

8.根據權利要求7所述的校準板，其特征在于，每個格子單元和與其鄰接的區域或與其鄰接的格子單元分別具有通過光刻形成的反射率不同的表面。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的校準板，其特征在于，所述校準板包括多個不同的所述校準區，各個不同的所述校準區內的格子單元的大小互不相同。

10.根據權利要求1至8中任一項所述的校準板，其特征在于，在至少一個所述校準區的至少一個格子單元內形成有子表面構造，所述至少一個格子單元內的子表面構造也包括周期性地排布的多個格子單元，其中所述子表面構造的每個格子單元的邊界的至少一部分和/或頂點的至少一部分能夠由所述數碼顯微鏡的光學成像系統識別出。

11.根據權利要求1至8中任一項所述的校準板，其特征在于，所述校準板還包括對所有波長的可見光都具有相同反射率的均勻反射區。

12.根據權利要求11所述的校準板，其特征在于，所述均勻反射區由形成在所述校準板表面上的金屬覆層或光學反射覆層形成。

13.一種數碼顯微鏡系統，包括數碼顯微鏡和根據權利要求1至12中任一項所述的校準板。

14.根據權利要求13所述的數碼顯微鏡系統，其特征在于，所述數碼顯微鏡具有可移動的載物臺，所述校準板安裝在所述載物臺上，并且能夠隨所述載物臺移動而使其校準區位于所述數碼顯微鏡的物鏡視野中。