[發明專利]一種光學行波腔增強激光拉曼氣體濃度檢測裝置

有效

• 申請號: 201410074484.4
• 申請日: 2014-03-03
• 公開（公告）號: CN103837520B
• 公開（公告）日: 2017-05-03
• 發明（設計）人: 張大偉;王文;高秀敏;黃元申;張雷洪
• 申請（專利權）人: 上海理工大學
• 主分類號: G01N21/65
• 分類號: G01N21/65
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司31001
• 代理人: 吳寶根

1.一種光學行波腔增強激光拉曼氣體濃度檢測裝置，其特征在于，包括激光光源、曲面環形內反射鏡高精細度腔、光束會聚元件、濾光片、光電檢測部件、反射鏡，光電檢測部件、濾光片、光束會聚元件、曲面環形內反射鏡高精細度腔、反射鏡依次同軸對稱放置，曲面環形內反射鏡高精細度腔為由曲面環形內反射鏡構成的單一的高精度腔，高精細度腔的內壁反射層的反射率大于98%，曲面環形內反射鏡高精細度腔在對稱軸的兩側對稱開相同大小的輸出口，一側輸出口邊設置有光束會聚元件，另一側輸出口設置比輸出口大的反射鏡，被檢測氣體置于曲面環形內反射鏡高精細度腔體中心區域，激光光源出射光束經過曲面環形內反射鏡高精細度腔的透光孔斜入射到曲面環形內反射鏡高精細度腔中，在曲面環形內反射鏡高精細度腔中形成行波進行傳輸，曲面環形內反射鏡高精細度腔內的被檢測區域氣體受到激光光束行波激發，發射出拉曼光，拉曼光一部分經過曲面環形內反射鏡高精細度腔輸出口，再經過光束會聚元件、濾波片將光束會聚后，被光電檢測部件收集，另一部分通過曲面環形內反射鏡高精細度腔另一輸出口反射鏡反射后，同樣依次經過光束會聚元件、濾光片，聚焦到光電檢測部件，最終被光電檢測部件收集。

2.根據權利要求1所述光學行波腔增強激光拉曼氣體濃度檢測裝置，其特征在于，所述曲面環形內反射鏡高精細度腔為球面凹面環形內反射鏡高精細度腔或輪胎形環形凹面反射鏡高精細度腔。

3.根據權利要求2所述光學行波腔增強激光拉曼氣體濃度檢測裝置，其特征在于，所述曲面環形內反射鏡高精細度腔上的透光孔為未鍍有反射膜的圓形通孔。

4.根據權利要求1所述光學行波腔增強激光拉曼氣體濃度檢測裝置，其特征在于，所述濾光片對激光光源出射光束為低透過率，透過率小于5%，濾光片對被檢測氣體激光拉曼光為高透過率，透過率大于95%。

5.根據權利要求1所述光學行波腔增強激光拉曼氣體濃度檢測裝置，其特征在于，所述激光光源為氣體激光器、固態激光器、染料激光器、半導體激光器、自由電子激光器、量子級聯激光器、生物激光器、光流體激光器其中的一種。