[發(fā)明專利]一種電共軛流體微型泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410073748.4
• 申請日: 2014-02-28
• 公開（公告）號: CN103864000A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王海波;張如照;鄒海龍;金俊完;橫田真一
• 申請（專利權(quán)）人: 西南交通大學(xué)
• 主分類號: B81B1/00
• 分類號: B81B1/00;H01L23/46
• 代理公司: 成都博通專利事務(wù)所 51208
• 代理人: 陳樹明

1.一種電共軛流體微型泵，包括上蓋板（1）、下殼體（2）、入液短管（3）和出液短管（4），其特征在于：

所述的下殼體（2）的底部設(shè)置有基板（5），在硅質(zhì)的基板（5）上通過紫外光刻技術(shù)形成有：膠質(zhì)的高度為300-500um的流道槽（6），流道槽（6）內(nèi)依次排列有多個鎳質(zhì)的電極對，電極對的高度與流道槽（6）的高度相同，每一電極對由三棱柱電極（7）和條狀縫隙電極（8）組成，三棱柱電極（7）的尖端與條狀縫隙電極（8）的縫隙相對，條狀縫隙電極（8）的兩側(cè)與流道槽（6）壁緊密連接；

基板（5）上還通過紫外光刻技術(shù)形成有：三棱柱電極導(dǎo)電帶（9）和條狀縫隙電極導(dǎo)電帶（10），所有的三棱柱電極（7）均與三棱柱電極導(dǎo)電帶（9）電連接，所有的條狀縫隙電極（8）均與條狀縫隙電極導(dǎo)電帶（10）電連接，三棱柱電極導(dǎo)電帶（9）和條狀縫隙電極導(dǎo)電帶（10）的引出端均伸出流道槽（6）并分別與正極引出線（11）和負(fù)極引出線（12）焊接；

基板（5）的上表面粘結(jié)硅膠密封板（13），硅膠密封板（13）上覆蓋上蓋板（1），上蓋板（1）下表面的側(cè)緣與下殼體（2）的側(cè)壁頂面粘結(jié)；入液短管（3）和出液短管（4）固定在上蓋板（1）上，并通過上蓋板（1）、硅膠密封板（13）的相應(yīng)通孔分別與流道槽的進液端和出液端相通；正極引出線（11）和負(fù)極引出線（12）穿出上蓋板（1）。

2.如權(quán)利要求1所述一種電共軛流體微型泵，其特征在于：所述的下殼體（2）的底部與基板（5）之間還設(shè)有硅膠緩沖層（14）。

3.如權(quán)利要求1所述一種電共軛流體微型泵，其特征在于，所述的條狀縫隙電極（8）的具體結(jié)構(gòu)是：兩個橫截面呈“L”形的電極的長邊的端部相對，且兩個電極相對的端部間留有縫隙。