[發明專利]信號增強裝置與信號增強方法無效
| 申請號： | 201410072525.6 | 申請日： | 2014-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN104030231A | 公開（公告）日： | 2014-09-10 |
| 發明（設計）人： | 劉茂誠;呂柏緯;周文介;翁淑怡;王竣傑 | 申請（專利權）人： | 先技股份有限公司 |
| 主分類號： | B81B7/00 | 分類號： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁揮;常大軍 |
| 地址： | 中國臺灣臺北市*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 信號 增強 裝置 方法 | ||
1.一種信號增強裝置，其特征在于，適于一微機電裝置，該信號增強裝置包括：
一基板，具有一摻雜區，該摻雜區具有多個導電載子，該些導電載子的電荷極性與一電子信號的電荷極性相同；
一氧化層，位于該基板上；以及
一信號傳輸層，位于該氧化層上，該信號傳輸層用以接收并增強該電子信號。
2.如權利要求1所述的信號增強裝置，其特征在于，該信號傳輸層包括一質量塊與多個懸臂，該些懸臂耦接于該質量塊，且該電子信號經由該質量塊而傳遞至該些懸臂。
3.如權利要求2所述的信號增強裝置，其特征在于，該質量塊的材料為多晶硅，該些懸臂的材料為金屬。
4.如權利要求1所述的信號增強裝置，其特征在于，該摻雜區包括多個摻雜原子，該些摻雜原子為五族元素或是三族元素。
5.如權利要求1所述的信號增強裝置，其其特征在于，該些導電載子為電子或是電洞。
6.一種信號增強方法，其特征在于，適于一微機電裝置，該信號增強方法包括下列步驟：
將多個摻雜原子植入一基板，以致使該基板上形成一摻雜區，其中該摻雜區具有多個導電載子，該些導電載子的電荷極性與一電子信號的電荷極性相同；
形成一氧化層于該基板上；以及
形成一信號傳輸層于該氧化層上，該信號傳輸層用以接收并增強該電子信號。
7.如權利要求6所述的信號增強方法，其特征在于，該信號傳輸層包括一質量塊與多個懸臂，該些懸臂耦接于該質量塊，且該電子信號經由該質量塊而傳遞至該些懸臂。
8.如權利要求7所述的信號增強方法，其特征在于，該質量塊的材料為多晶硅，該些懸臂的材料為金屬。
9.如權利要求6所述的信號增強方法，其特征在于，該些摻雜原子為五族元素或是三族元素。
10.如權利要求6所述的信號增強方法，其特征在于，該些導電載子為電子或是電洞。
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