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[發明專利]一種半導體CdS/CdSSe異質結納米線及其制備方法有效

專利信息
申請號: 201410071960.7 申請日: 2014-02-28
公開(公告)號: CN103882514A 公開(公告)日: 2014-06-25
發明(設計)人: 潘安練;郭鵬飛 申請(專利權)人: 湖南大學
主分類號: C30B23/02 分類號: C30B23/02;C30B29/62;C30B29/48;H01L31/0296;H01L31/18
代理公司: 長沙市融智專利事務所 43114 代理人: 顏勇
地址: 410082 湖*** 國省代碼: 湖南;43
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 半導體 cds cdsse 異質結 納米 及其 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種半導體CdS/CdSSe異質結納米線,其特征在于:所述CdS/CdSSe異質結納米線中CdS納米線與CdSSe納米線之間的界面為陡峭界面。

2.根據權利要求1所述的一種半導體CdS/CdSSe異質結納米線,其特征在于:所述CdS納米線為單晶結構納米線;所述CdSSe納米線為單晶結構納米線。

3.根據權利要求1所述的一種半導體CdS/CdSSe異質結納米線,其特征在于:所述CdS/CdSSe異質結納米線的長度為50-100微米、直徑為80-400納米。

4.一種如權利要求1-3任意一項所述半導體CdS/CdSSe異質結納米線的制備方法,其特征在于:

以CdS粉末和CdSe粉末作為原料,對CdS粉末和CdSe粉末分別進行加熱,得到CdS蒸汽和CdSe蒸汽,通過載氣將CdS蒸汽和CdSe蒸汽送到反應器中并在具有金膜的硅片上進行沉積,得到CdSSe單晶納米線后;停止通入CdS蒸汽和CdSe蒸汽,繼續通入純載氣,稀釋至爐內CdS蒸汽和CdSe蒸汽的含量小于等于1%-0.5%后;重新通過載氣將CdS蒸汽導入爐內,在生成的CdSSe單晶納米線上進行沉積,得到CdS/CdSSe異質結納米線;或

以CdS粉末作為原料,對CdS粉末進行加熱得到CdS蒸汽后,通過載氣將CdS蒸汽送到反應器中并在具有金膜的硅片上進行沉積,得到CdS單晶納米線后,停止通入CdS蒸汽并繼續通入純載氣,稀釋至爐內CdS蒸汽的含量小于等于1%-0.5%后,重新通過載氣將CdS蒸汽和CdSe蒸汽導入爐內,在生成的CdS單晶納米線上進行沉積,得到CdS/CdSSe異質結納米線;

沉積時,控制溫度為650-750℃。

5.根據權利要求4所述一種半導體CdS/CdSSe異質結納米線的制備方法,其特征在于包括下述步驟:

步驟一

將帶有進氣口和出氣口的水平管式爐加熱部位中心的溫度定義為T1,兩端溫度定義為T2;將靠進氣口一端的溫度T2對應的位置定義為蒸發區,將靠近出氣口的一端的溫度T2對應的位置定義為沉積區;

步驟二

將裝有CdS的磁舟1置于水平管式爐的溫度T1部位,將裝有CdSe的磁舟2置于水平管式爐溫度T2對應的蒸發區;將帶有金膜的硅片懸空置于水平管式爐溫度T2對應的沉積區;另取足量CdS裝入磁舟3并置于水平管式爐進氣口一端的加熱區外,磁舟3與磁舟2之間以連桿連接;磁舟3與推進裝置相連;

步驟三

抽真空,通入載氣,升溫至水平管式爐T1部位溫度為780-800℃,T2對應的蒸發區和沉積區溫度均為650-700℃,磁舟1中的CdS粉末和磁舟2的CdSe粉末受熱蒸發形成蒸汽,由載氣送至設于沉積區的帶有金膜的硅片上,進行沉積,得到CdSSe單晶納米線后;降溫至T1部位溫度為550-580℃,通過與磁舟3相連的推進裝置,推動磁舟3向加熱區移動,進而,磁舟3通過連桿推動磁舟2同方向移動,當磁舟2移動至與磁舟1接觸時,將磁舟1一起推離加熱區,最終,將磁舟3推進至T1部位;繼續通入純凈載氣,將水平管式爐內CdS蒸汽和CdSe蒸汽濃度稀釋至1%-0.5%后;升溫至T1部位溫度為830-850℃,磁舟3中的CdS粉末受熱蒸發形成蒸汽,由載氣送至設于沉積區的CdSSe單晶納米線上進行沉積,得到CdS/CdSSe異質結納米線;此時,T2對應的沉積區溫度為680-730℃。

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