[發明專利]用于生產硅塊的設備在審
| 申請號: | 201410068762.5 | 申請日: | 2014-02-27 |
| 公開(公告)號: | CN104032370A | 公開(公告)日: | 2014-09-10 |
| 發明(設計)人: | 卡斯帕斯·戴斯;馬克·迪特里希;比安卡格朗迪-文約克;斯蒂芬·洛克 | 申請(專利權)人: | 太陽世界創新有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/06 | 分類號: | C30B29/06;C30B11/00 |
| 代理公司: | 上海勝康律師事務所 31263 | 代理人: | 李獻忠 |
| 地址: | 德國弗*** | 國省代碼: | 德國;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 生產 設備 | ||
1.一種用于生產硅塊的設備(1),其包括:
a、至少一個用于容納半導體熔體的第一容器(3);
b、至少一個用于容納半導體熔體的第二容器(4);
c、其中,所述至少一個第二容器(4)具有出口(12),經由所述出口(12),液態硅能夠從所述至少一個第二容器(4)流出到所述至少一個第一容器(3)中;以及
d、其中,所述容器(3、4)布置在共同的腔(9)中。
2.根據權利要求1所述的設備(1),其特征在于,所述第二容器(4)的容量(V2)小于所述第一容器(3)的容量(V1),即V2<V1。
3.根據權利要求1至2之一所述的設備(1),其特征在于,所述設備(1)包括加熱裝置(15),所述加熱裝置(15)適用于不僅在所述第一容器(3)中而且在所述第二容器(4)中使得硅(6)熔融。
4.根據權利要求3所述的設備(1),其特征在于,所述加熱裝置(15)通過如下方式構成,即,在使得所述第一容器(3)中的硅熔體(2)固化期間,能夠使得所述第二容器(4)中的塊狀硅(6)熔融。
5.根據前述權利要求之一所述的設備(1),其特征在于用于容納塊狀硅(6)的第三容器(8),所述第三容器(8)經由輸送裝置(7)與所述第二容器(4)連接。
6.一種用于生產硅塊的方法,其包括如下步驟:
a、提供一種根據前述權利要求之一所述的設備(1);
b、在所述第一容器(3)中提供硅熔體(2);
c、在所述第二容器(4)中提供硅熔體(2);
d、使得所述第一容器(3)中的所述硅熔體(2)定向固化;以及
e、將液態硅從所述第二容器(4)轉移到所述第一容器(3)中。
7.根據權利要求6所述的方法,其特征在于,在使得所述第一容器(3)中的所述硅熔體(2)定向固化期間,將液態硅從所述第二容器(4)轉移到所述第一容器(3)中。
8.根據權利要求6至7之一所述的方法,其特征在于,在一個或者多個時間段期間連續地將液態硅從所述第二容器(4)轉移到所述第一容器(3)中。
9.根據權利要求6至8之一所述的方法,其特征在于,所述第一容器(3)具有容量(V1),總共從所述第二容器(4)轉移到所述第一容器(3)中的液態硅具有容量(Vn),其中,適用的是:0.05V1≤Vn。
10.根據權利要求6至9之一所述的方法,其特征在于,從所述第二容器(4)到所述第一容器(3)中的所述轉移以處于0.1kg/h至10kg/h范圍內的速率來實現。
11.根據權利要求6至10之一所述的方法,其特征在于,所述第二容器(4)中的硅具有預先確定的濃度的一種或多種摻雜物。
12.根據權利要求6至11之一所述的方法,其特征在于,在使得所述第一容器(3)中的硅熔體(2)固化期間,至少階段式地將塊狀硅(6)從第三容器(8)輸送給所述第二容器(4)。
13.根據權利要求12所述的方法,其特征在于,輸送給所述第二容器的硅(6)具有預先確定的濃度的一種或多種摻雜物。
14.一種硅塊,其按照根據權利要求6至13之一所述的方法來生產。
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