[發明專利]相對距離測量裝置及方法有效
| 申請號： | 201410067724.8 | 申請日： | 2014-02-26 |
| 公開（公告）號： | CN104858769B | 公開（公告）日： | 2018-12-18 |
| 發明（設計）人： | 金一諾;王堅;王暉 | 申請（專利權）人： | 盛美半導體設備(上海)有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/005 | 分類號： | B24B37/005;G01B7/14;G01C9/00 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 陸嘉 |
| 地址： | 201203 上海市浦東新*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 相對 距離 測量 裝置 方法 | ||
1.一種相對距離測量裝置，測量一待測對象與該測量裝置之間的相對距離，其特征在于，包括：
參考平面，所述參考平面具有上表面及與上表面相對的下表面；
至少一個測量探針，所述測量探針布置在參考平面的上表面，所述測量探針高出參考平面上表面的高度已知；
參考探針，所述參考探針布置在參考平面的上表面，參考探針的高度高于測量探針；
電源，所述電源的一電極與所述測量探針電連接，電源的另一電極與參考探針電連接；
伺服電機，所述伺服電機驅動待測對象在豎直方向運動；及
控制器，所述控制器接收并記錄所述測量探針與待測對象接觸時伺服電機的反饋值，根據伺服電機的反饋值判斷待測對象與該測量裝置之間的相對距離；
其中，所述伺服電機驅動待測對象下降，參考平面上的參考探針率先與待測對象接觸，伺服電機驅動待測對象繼續下降，所述測量探針與待測對象接觸，控制器接收并記錄此時伺服電機反饋的一反饋值。
2.根據權利要求1所述的相對距離測量裝置，其特征在于，所述待測對象為一導體或待測對象朝向參考平面的一面分布有導電層。
3.根據權利要求1所述的相對距離測量裝置，其特征在于，所述伺服電機的反饋值與待測對象的高度值相對應。
4.根據權利要求1所述的相對距離測量裝置，其特征在于，所述參考平面為圓環狀或者圓盤狀。
5.根據權利要求1所述的相對距離測量裝置，其特征在于，所述測量探針和參考探針均為金屬彈簧探針。
6.根據權利要求1所述的相對距離測量裝置，其特征在于，還進一步包括數個可調節支柱，所述數個可調節支柱布置在參考平面的下表面，數個可調節支柱調節參考平面的水平度。
7.一種使用權利要求1至6中任一項所述的相對距離測量裝置測量一待測對象與該測量裝置之間的相對距離的方法，其特征在于，包括如下步驟：
伺服電機驅動待測對象下降，參考平面上的參考探針率先與待測對象接觸；
伺服電機驅動待測對象繼續下降，參考平面上的第一個測量探針與待測對象接觸，伺服電機停止驅動待測對象向下運動，控制器接收并記錄此時伺服電機反饋的第一反饋值；
獲得第一反饋值與控制器接收并記錄第一反饋值時待測對象與參考平面之間的相對距離的對應關系，根據該對應關系，計算出與伺服電機任一反饋值相對應的待測對象與參考平面之間的相對距離。
8.根據權利要求7所述的測量一待測對象與該測量裝置之間的相對距離的方法，其特征在于，控制器接收并記錄第一反饋值時待測對象與參考平面之間的相對距離也就是測量探針高出參考平面上表面的高度值。
9.根據權利要求7所述的測量一待測對象與該測量裝置之間的相對距離的方法，其特征在于，在伺服電機開始工作之前，調整待測對象的水平度，使待測對象的水平度符合要求。
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