[發(fā)明專利]水平度測量裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410066598.4
• 申請日: 2014-02-26
• 公開（公告）號: CN104864805B
• 公開（公告）日: 2019-09-27
• 發(fā)明（設計）人: 金一諾;王堅;王暉
• 申請（專利權）人: 盛美半導體設備(上海)有限公司
• 主分類號: G01B7/34
• 分類號: G01B7/34;G01B7/14;H01L21/66
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸嘉

1.一種水平度測量裝置，測量一待測對象的水平度，其特征在于，該測量裝置包括：

參考平面，所述參考平面具有上表面及與上表面相對的下表面；

數(shù)個測量探針，所述數(shù)個測量探針布置在參考平面的上表面，數(shù)個測量探針高出參考平面上表面的高度已知；

參考探針，所述參考探針布置在參考平面的上表面，參考探針的高度高于測量探針；

電源，所述電源的一電極與數(shù)個測量探針電連接，電源的另一電極與參考探針電連接，所述電源的電極與數(shù)個測量探針并聯(lián)連接；

伺服電機，所述伺服電機驅(qū)動待測對象在豎直方向運動；及

控制器，所述控制器接收并記錄數(shù)個測量探針與待測對象接觸時伺服電機的反饋值，根據(jù)伺服電機的反饋值判斷待測對象的水平度是否符合要求；

其中，所述電源通過所述參考探針和所述數(shù)個測量探針與所述待測對象形成的電回路數(shù)等于所述數(shù)個測量探針的數(shù)量；

其中，所述待測對象為一導體或待測對象朝向參考平面的一面分布有導電層；

其中，所述伺服電機驅(qū)動待測對象下降，參考平面上的參考探針率先與待測對象接觸，伺服電機驅(qū)動待測對象繼續(xù)下降，其中一個測量探針與待測對象接觸，控制器接收并記錄此時伺服電機反饋的一反饋值，所述反饋值與待測對象的高度值相對應。

2.根據(jù)權利要求1所述的水平度測量裝置，其特征在于，當余下的測量探針分別與待測對象接觸時，所述控制器接收并記錄各測量探針與待測對象接觸時伺服電機的反饋值，控制器接收并記錄伺服電機反饋的數(shù)個反饋值后，計算出該數(shù)個反饋值中最大值與最小值之間的差值，并判斷差值是否在設定的誤差范圍內(nèi)，如果差值在設定的誤差范圍內(nèi)，則待測對象的水平度符合要求，如果差值不在設定的誤差范圍內(nèi)，則待測對象的水平度不符合要求。

3.根據(jù)權利要求1所述的水平度測量裝置，其特征在于，所述參考平面為圓環(huán)狀或者圓盤狀。

4.根據(jù)權利要求1所述的水平度測量裝置，其特征在于，所述測量探針和參考探針均為金屬彈簧探針。

5.根據(jù)權利要求1所述的水平度測量裝置，其特征在于，還進一步包括數(shù)個可調(diào)節(jié)支柱，所述數(shù)個可調(diào)節(jié)支柱布置在參考平面的下表面，數(shù)個可調(diào)節(jié)支柱調(diào)節(jié)參考平面的水平度。

6.一種使用權利要求1至5中任一項所述的水平度測量裝置測量一待測對象的水平度的方法，其特征在于，包括如下步驟：

調(diào)節(jié)參考平面的水平度，以使參考平面保持水平；

伺服電機驅(qū)動待測對象下降，參考平面上的參考探針率先與待測對象接觸；

伺服電機驅(qū)動待測對象繼續(xù)下降，參考平面上的第一個測量探針與待測對象接觸，控制器接收并記錄此時伺服電機反饋的第一反饋值；

伺服電機驅(qū)動待測對象繼續(xù)下降，參考平面上的第二個測量探針與待測對象接觸，控制器接收并記錄此時伺服電機反饋的第二反饋值；

伺服電機驅(qū)動待測對象繼續(xù)下降，參考平面上的第三個測量探針與待測對象接觸，伺服電機停止驅(qū)動待測對象向下運動，控制器接收并記錄此時伺服電機反饋的第三反饋值；

控制器根據(jù)伺服電機的第一反饋值、第二反饋值及第三反饋值，計算出該三個值中最大值與最小值之間的差值；

判斷差值是否在設定的誤差范圍內(nèi)，如果差值在設定的誤差范圍內(nèi)，則待測對象的水平度符合要求，如果差值不在設定的誤差范圍內(nèi)，則待測對象的水平度不符合要求。

7.根據(jù)權利要求6所述的測量一待測對象的水平度的方法，其特征在于，如果差值不在設定的誤差范圍內(nèi)，調(diào)整待測對象的水平度，然后，再次測量待測對象的水平度。

8.根據(jù)權利要求6所述的測量一待測對象的水平度的方法，其特征在于，設置待測對象下降高度的極限值，伺服電機驅(qū)動待測對象下降的過程中，判斷待測對象下降的高度是否已達極限值，如果待測對象下降的高度達到極限值時，而控制器沒有接收到伺服電機的反饋值或僅接收到伺服電機的部分反饋值，則伺服電機停止驅(qū)動待測對象向下運動。