[發(fā)明專利]刻劃輪、保持具單元、刻劃裝置及刻劃輪的制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410065484.8
• 申請(qǐng)日: 2014-02-25
• 公開（公告）號(hào): CN104002389A
• 公開（公告）日: 2014-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 淺井義之
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/00
• 分類號(hào): B28D5/00;B28D1/24
• 代理公司: 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是關(guān)于使用于在脆性材料基板的表面形成刻劃線的刻劃輪、保持具單元、刻劃裝置及刻劃輪的制造方法。詳細(xì)而言，本發(fā)明是關(guān)于一種在較一般的非晶質(zhì)玻璃基板更硬的陶瓷基板、藍(lán)寶石基板、硅基板等脆性材料基板的表面形成刻劃線時(shí)較適合的刻劃輪、保持具單元、刻劃裝置及刻劃輪的制造方法。

背景技術(shù)

已知有在對(duì)使用于液晶面板等非晶質(zhì)的玻璃基板進(jìn)行分?jǐn)鄷r(shí)，使用刻劃輪的方法。該方法是使刻劃輪壓接轉(zhuǎn)動(dòng)于玻璃基板上而于基板表面形成刻劃線，借此從基板表面往垂直方向使裂紋產(chǎn)生(刻劃步驟)，接著對(duì)基板施加應(yīng)力而使該垂直裂紋成長(zhǎng)至基板背面(裂斷步驟)，從而分?jǐn)嗖ＡЩ濉?/p>

作為該刻劃輪，例如已知有專利文獻(xiàn)1中記載的刻劃刀。該刻劃刀的本體部分，以燒結(jié)鉆石(Poly?Crystalline?Diamond，以下稱為PCD)形成。另外，該P(yáng)CD是使用混合有鉆石粒子與結(jié)合材(鈷等)，且在高溫高壓下燒結(jié)而作成。

此外，作為分?jǐn)噍^玻璃基板更硬的氧化鋁(alumina)等陶瓷基板的方法，已知有于半導(dǎo)體晶圓的切斷中所進(jìn)行的切割(singulation)。然而，在切割中存在有如以下般的問題。(1)一般而言加工速度較慢，因此產(chǎn)距時(shí)間(takt?time；所需時(shí)間)較長(zhǎng)，生產(chǎn)性極低。(2)產(chǎn)生與切割鋸(dicing?saw)的厚度量對(duì)應(yīng)的切屑，因此無法避免材料的損失。(3)于切斷面容易產(chǎn)生缺欠。(4)必需使用洗凈水，因此干燥步驟為必要。(5)切割用帶材的黏貼、撕除步驟為必要。(6)刀片的壽命短，運(yùn)轉(zhuǎn)成本高。

因此，即使是在較玻璃基板更硬的氧化鋁等陶瓷基板的分?jǐn)嘀校嗯c玻璃基板的分?jǐn)嗤瑯拥兀瑖L試使用刻劃輪進(jìn)行分?jǐn)唷?/p>

然而，在使用專利文獻(xiàn)1所揭示的PCD制的刻劃輪進(jìn)行陶瓷基板的分?jǐn)嘞拢a(chǎn)生有如下的問題：相較于玻璃基板的分?jǐn)啵度星岸瞬糠值哪ズ募ち遥箍虅澼喌牡度星岸瞬糠值膲勖兊脴O為短。

針對(duì)該理由進(jìn)行了檢討而得知：一旦使用PCD制的刻劃輪進(jìn)行刻劃，則鉆石粒子間的結(jié)合材會(huì)先脫落，因結(jié)合材的脫落而使殘留的鉆石粒子彼此亦變得容易脫落，又在相互之下更容易導(dǎo)致缺欠，因此使刀刃前端部分的磨耗變激烈。

專利文獻(xiàn)1：日本特開平11-171574號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種在分?jǐn)啻嘈圆牧匣宓那樾危岣吡说度星岸说哪湍ズ男缘目虅澼啞⒈３志邌卧⒖虅澭b置及刻劃輪的制造方法。

本發(fā)明的目的是采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明的刻劃輪，用于分?jǐn)啻嘈圆牧匣澹杂啥嘟Y(jié)晶CVD鉆石構(gòu)成的構(gòu)件形成。

本發(fā)明的目的還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。

前述的刻劃輪，其中該多結(jié)晶CVD鉆石的平均粒徑為60～80μm。

前述的刻劃輪，其中該多結(jié)晶CVD鉆石具有導(dǎo)電性。

前述的刻劃輪，其中于切削該圓板狀構(gòu)件的圓周部而形成的刀刃部的前端，形成有溝槽。

本發(fā)明的目的還采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明的保持具單元，具有以由多結(jié)晶CVD鉆石構(gòu)成的構(gòu)件形成的刻劃輪，及將刻劃輪保持成旋轉(zhuǎn)自如的保持具。

本發(fā)明的目的再采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明的刻劃裝置，具備將以由多結(jié)晶CVD鉆石構(gòu)成的構(gòu)件形成的刻劃輪保持成旋轉(zhuǎn)自如的保持具單元。

本發(fā)明的目的又采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明的用于分?jǐn)啻嘈圆牧匣宓目虅澼喌闹圃旆椒ǎ邆湫纬捎啥嘟Y(jié)晶CVD鉆石構(gòu)成的圓板狀構(gòu)件的步驟，及于該圓板狀構(gòu)件的圓周部形成刀刃部的步驟。

本發(fā)明的目的還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。

前述的刻劃輪的制造方法，其中形成該圓板狀構(gòu)件的步驟，是形成由具有導(dǎo)電性的該多結(jié)晶CVD鉆石構(gòu)成的圓板狀構(gòu)件的步驟。

前述的刻劃輪的制造方法，其中于形成該刀刃部的步驟，包含有放電加工。

借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明的刻劃輪、保持具單元、刻劃裝置及刻劃輪的制造方法至少具有下列優(yōu)點(diǎn)及有益效果：

（1）根據(jù)本發(fā)明的刻劃輪，由于刻劃輪是以多結(jié)晶CVD鉆石形成，因此不會(huì)含有如PCD般的結(jié)合材。因此，尤其是在分?jǐn)嗳巛^玻璃基板更硬的陶瓷般的脆性材料基板的情形，由于不會(huì)產(chǎn)生如PCD制刻劃輪般的結(jié)合材的脫落，因此成為刀刃部的耐磨耗性高，且壽命長(zhǎng)的刻劃輪。

（2）根據(jù)本發(fā)明的保持具單元，成為在分?jǐn)嗳巛^玻璃基板更硬的陶瓷般的脆性材料基板的情形，保持有較PCD制的刻劃輪壽命更長(zhǎng)的刻劃輪的保持具單元。