[發明專利]單晶晶棒粘接裝置

在審

• 申請號: 201410064761.3
• 申請日: 2014-02-25
• 公開（公告）號: CN103806106A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 李雙江
• 申請（專利權）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: C30B33/06
• 分類號: C30B33/06
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 吳貴明;張永明

1.一種單晶晶棒粘接裝置，其特征在于，包括：

底座（10）；

定位機構（20），設置在所述底座（10）上以定位托盤（100）；

支撐調節機構（30），可滑動地設置在所述底座（10）上以支撐單晶晶棒（200）并調節所述單晶晶棒（200）的位置；

檢測機構（40），用于檢測所述單晶晶棒（200）的中心軸線與所述托盤（100）的中心軸線是否位于同一直線上。

2.根據權利要求1所述的單晶晶棒粘接裝置，其特征在于，所述定位機構（20）包括：

支撐座（21），固定設置在所述底座（10）上；

定位件（22），從所述支撐座（21）的第一側穿設至所述支撐座（21）的第二側以定位所述托盤（100）。

3.根據權利要求2所述的單晶晶棒粘接裝置，其特征在于，所述定位件（22）為定位螺釘，所述托盤（100）的底端設置有與所述定位螺釘相適配的螺紋孔。

4.根據權利要求2所述的單晶晶棒粘接裝置，其特征在于，所述支撐調節機構（30）包括：

多個支撐架（31），沿遠離所述支撐座（21）的方向依次可滑動地設置在所述底座（10）上，各所述支撐架（31）均位于所述支撐座（21）的第二側，且所述支撐架（31）上均設置有放置所述單晶晶棒（200）的凹槽（34）；

多個調節組件（32），一一對應地設置在多個所述支撐架（31）上以調節所述單晶晶棒（200）的位置。

5.根據權利要求4所述的單晶晶棒粘接裝置，其特征在于，所述單晶晶棒粘接裝置還包括導軌（50），所述導軌（50）固定設置在所述底座（10）上，并位于所述支撐座（21）的第二側，且多個所述支撐架（31）的底端可滑動地設置在所述導軌（50）上。

6.根據權利要求4所述的單晶晶棒粘接裝置，其特征在于，各所述調節組件（32）均包括：

多根支撐桿（321），各所述支撐桿（321）均可伸縮地設置在所述支撐架（31）上，且各所述支撐桿（321）的第一端均位于所述凹槽（34）內以調節所述單晶晶棒（200）的中心軸線與所述托盤（100）的中心軸線位于同一條直線上。

7.根據權利要求6所述的單晶晶棒粘接裝置，其特征在于，各所述支撐桿（321）的靠近所述單晶晶棒（200）的一端均具有與所述單晶晶棒（200）的外周面相適配的弧形面。

8.根據權利要求6所述的單晶晶棒粘接裝置，其特征在于，各所述支撐架（31）上均設置有多個通孔（33），多個所述通孔（33）均與所述凹槽（34）連通，多根所述支撐桿（321）一一對應地固定在多個所述通孔（33）內，且各所述通孔（33）均為沿所述支撐架（31）的高度方向延伸的長方形通孔。

9.根據權利要求4所述的單晶晶棒粘接裝置，其特征在于，所述檢測機構（40）包括：

至少一個第一檢測環（41），固定設置在所述支撐座（21）上，并位于所述支撐座（21）的第二側，且各所述第一檢測環（41）的內徑與所述托盤（100）的外徑相適配；

多個第二檢測環（42），一一對應地設置在多個所述支撐架（31）上，且各所述第二檢測環（42）的內徑與所述單晶晶棒（200）的外徑相適配；

多個檢測件（43），至少三個所述檢測件（43）為一組，各所述第一檢測環（41）上均設置有至少一組所述檢測件（43），且位于所述第一檢測環（41）上的同一組內的所述檢測件（43）沿所述第一檢測環（41）的同一周向設置，各所述第二檢測環（42）上均設置有至少一組所述檢測件（43），且位于所述第二檢測環（42）上的同一組內的所述檢測件（43）沿所述第二檢測環（42）的同一周向設置，且各所述檢測件（43）均用于檢測所述檢測件（43）的安裝位置處的坐標；

檢測中心，與多個所述檢測件（43）電連接，根據各所述檢測件（43）檢測到的數據確定所述托盤（100）和所述單晶晶棒（200）的中心軸線，并確定所述托盤（100）的中心軸線與所述單晶晶棒（200）的中心軸線是否位于同一條直線上。

10.根據權利要求9所述的單晶晶棒粘接裝置，其特征在于，各所述檢測件（43）均為位移傳感器。