[發明專利]真空截止閥

有效

• 申請號: 201410061946.9
• 申請日: 2014-02-24
• 公開（公告）號: CN104048103B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發明（設計）人: 趙漢重;金相鎬
• 申請（專利權）人: 艾姆斯特工程有限公司
• 主分類號: F16K51/00
• 分類號: F16K51/00;F16L55/00
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司11286
• 代理人: 胡江海,李柱天

技術領域

本發明涉及一種真空截止閥。更具體地涉及一種能夠對供給腔洗滌氣體的管子進行選擇性的阻隔，通過最大限度地減少安裝在用于阻隔管道的阻隔部的密封部件的磨損，從而有效地維持腔內部的真空狀態的真空截止閥。

背景技術

一般而言，半導體或液晶顯示裝置（LCD）制作工序等需要精密作業的工序通常在如腔等與外部阻隔并始終保持一定溫度的空間內實施。當在腔的內部完成處理工序時，將在腔的內部殘留因處理氣體導致的異物，向腔的內部注入腔洗滌氣體，去除殘留在腔的內部的異物。此時，腔通過管道等獨立的連接機構與洗滌氣體電離模塊相連接，從而獲得在洗滌氣體電離模塊中實現電離的腔洗滌氣體。

在洗滌氣體電離模塊中實現電離的腔洗滌氣體，為了加強工序的處理量并提高洗滌率，被使用三氟化氮（NF3）。但，當洗滌氣體電離模塊在對三氟化氮實施電離的過程中，因三氟化氮的氮（N）和氟（F）的離子，將發生腐蝕及故障等。因此，應定期或不定期地更換洗滌氣體電離模塊。

針對腔而言，為了確保工序的效率化，腔內部的狀態需要維持工序進行狀態，因此在更換洗滌氣體電離模塊期間內，也應保持與外部阻隔的狀態。即，腔應保持內部的真空并且防止內部的空氣和熱量外泄。在更換洗滌氣體電離模塊期間內，如果腔內部的空氣及熱量外泄，則腔內部的真空狀態及溫度將發生變化，從而導致腔內部的工序進行狀態發生改變。當腔內部的工序進行狀態發生變化時，應重新提升腔內部的溫度，使其達到適合內部腔內部洗滌、真空及工序的溫度。這將導致工序時間的延遲，從而明顯地降低整體工序的產率。

但，根據以往的方式，不存在獨立的裝備能夠做到通過安裝于腔和洗滌氣體電離模塊相連接的管道并選擇性地阻隔管道，從而保持腔與外部阻隔的狀態，因此，在更換洗滌氣體電離模塊的情況下，存在著腔將無法保持與外部阻隔的狀態的問題。

發明內容

為了解決上述技術問題，本發明的目的在于提供一種對腔和腔洗滌氣體供給部相連接的管道進行選擇性地阻隔，從而能夠易于保持腔與外部阻隔的狀態的真空截止閥。

本發明的目的不受限于上述提及的內容，本領域技術人員能夠通過下述記載明確了解未提及的其他目的。

為了解決上述問題，根據本發明的實施例的真空截止閥，包括：外罩部，設置于腔和腔洗滌氣體供給部之間，形成用于連接上述腔和上述腔洗滌氣體供給部使其相連通的管道；管道阻隔部，形成于上述管道的預定位置，用于選擇性地阻隔管道；第一阻隔部，設置于上述外罩部，沿著第一方向移動并選擇性地阻隔上述管道阻隔部的開放的第一面，確保上述腔和上述腔洗滌氣體供給部保持相連通的狀態；第二阻隔部，設置于上述外罩部，在上述第一阻隔部沿著上述第一方向移動的情況下，沿著第二方向移動并施壓于上述第一阻隔部，確保上述腔和上述腔洗滌氣體供給部保持相連通的狀態，而在上述第一阻隔部沿著上述第一方向的相反方向移動的情況下，沿著上述第二方向移動并通過上述第一面來插入到上述管道阻隔部，緊貼于上述第一面的對置面并阻隔上述管道，從而阻隔上述腔和上述腔洗滌氣體供給部的連通。

并且，上述第一方向和上述第二方向能夠相互垂直。

并且，在配置于上述管道阻隔部的上述第一面的對置方向的上述管道阻隔部的第二面，能夠形成有第一開口部用于通過從上述腔洗滌氣體供給部所供給的腔洗滌氣體，在與上述第二面相鄰的上述腔洗滌氣體的第三面，能夠形成有第二開口部用于通過上述腔洗滌氣體。

并且，在上述第一阻隔部沿著上述第一方向的相反方向移動的情況下，上述第二阻隔部沿著上述第二方向移動，通過上述第一面插入到上述管道阻隔部并緊貼于上述第二面，從而能夠封堵上述第一開口部。

并且，上述外罩部具有從上述第一面延伸而形成的第一安裝孔和從上述第一安裝孔分支而形成的第二安裝孔，上述第一安裝孔和上述第二安裝孔能夠相互垂直地形成于上述外罩部。

并且，上述第一阻隔部能夠具有主體部，從上述第二安裝孔的一端部延伸，固定地設置于上述外罩部；第一移動部，設置于上述主體部的內部，可沿著上述第一方向移動；關節部件，與第一移動部的一側相結合，可沿著上述第一方向移動；第一開閉部，通過與上述關節部件的一側相結合而沿著上述第一方向移動，選擇性地阻隔上述管道阻隔部的上述第一面。

并且，上述主體部的內部能夠以空心形狀形成，確保與上述第二安裝孔相連通。