[發明專利]砂輪修整器在研磨部件上的滑動距離分布的獲得方法、滑動矢量分布的獲得方法及研磨裝置有效
| 申請號： | 201410060588.X | 申請日： | 2014-02-21 |
| 公開（公告）號： | CN104002239B | 公開（公告）日： | 2017-11-28 |
| 發明（設計）人： | 島野隆寬;谷川睦;松尾尚典;山口都章;渡邊和英 | 申請（專利權）人： | 株式會社荏原制作所 |
| 主分類號： | B24B53/017 | 分類號： | B24B53/017;B24B37/27;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海市華誠律師事務所31210 | 代理人： | 梅高強,劉煜 |
| 地址： | 日本國東京都*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 砂輪 修整 研磨 部件 滑動 距離 分布 獲得 方法 矢量 裝置 | ||
1.一種獲得砂輪修整器的滑動距離分布的方法，該砂輪修整器在用于研磨基板的研磨部件上滑動，所述獲得砂輪修整器的滑動距離分布的方法的特征在于，包含下述工序：
對在所述研磨部件上的規定的滑動距離算出點的所述砂輪修整器與所述研磨部件的相對速度進行計算；
通過將所述相對速度乘以在所述滑動距離算出點的所述砂輪修整器與所述研磨部件的接觸時間，來算出在所述滑動距離算出點的所述砂輪修整器的滑動距離的增量；
通過將至少一個補正系數乘以所述算出的滑動距離的增量，來補正所述滑動距離的增量；
通過將所述補正后的滑動距離的增量加上在所述滑動距離算出點的目前的滑動距離，來更新所述滑動距離；以及
根據所述更新后的滑動距離和所述滑動距離算出點的位置，生成所述砂輪修整器的滑動距離分布，
所述至少一個補正系數包含對所述滑動距離算出點設置的凹凸補正系數，
所述凹凸補正系數是用于使形成于所述研磨部件的表面的凸部的磨量與凹部的磨量的差異反映所述研磨部件的外形的補正系數，
算出在與所述砂輪修整器接觸的多個滑動距離算出點的滑動距離的平均值，
通過從在與所述砂輪修整器接觸的所述規定的滑動距離算出點的所述滑動距離中減去所述平均值，來算出差值，
在將所述凹凸補正系數設為Uv，將所述差值設為Diffv，t并將U0設為預先規定的大于0的常數時，通過將所述差值Diffv，t輸入指數函數Uv＝exp(-U0×Diffv，t)，從而決定所述凹凸補正系數，
通過將所述凹凸補正系數乘以所述滑動距離的增量，來補正該滑動距離的增量。
2.一種獲得砂輪修整器的滑動距離分布的方法，該砂輪修整器在用于研磨基板的研磨部件上滑動，所述獲得砂輪修整器的滑動距離分布的方法的特征在于，包含下述工序：
對在所述研磨部件上的規定的滑動距離算出點的所述砂輪修整器與所述研磨部件的相對速度進行計算；
通過將所述相對速度乘以在所述滑動距離算出點的所述砂輪修整器與所述研磨部件的接觸時間，來算出在所述滑動距離算出點的所述砂輪修整器的滑動距離的增量；
通過將至少一個補正系數乘以所述算出的滑動距離的增量，來補正所述滑動距離的增量；
通過將所述補正后的滑動距離的增量加上在所述滑動距離算出點的目前的滑動距離，來更新所述滑動距離；以及
根據所述更新后的滑動距離和所述滑動距離算出點的位置，生成所述砂輪修整器的滑動距離分布，
所述至少一個補正系數包含對所述滑動距離算出點設置的凹凸補正系數，
所述凹凸補正系數是用于使形成于所述研磨部件的表面的凸部的磨量與凹部的磨量的差異反映所述研磨部件的外形的補正系數，
通過將所述凹凸補正系數乘以所述滑動距離的增量，來補正該滑動距離的增量，
所述至少一個補正系數還包含預先設定的摩擦補正系數，
在重復進行從計算所述相對速度至補正所述滑動距離的增量的工序期間，當在所述滑動距離算出點、所述砂輪修整器與所述研磨部件接觸規定次數以上的場合，通過將所述摩擦補正系數乘以所述滑動距離的增量，來進一步補正所述滑動距離的增量。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于株式會社荏原制作所，未經株式會社荏原制作所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201410060588.X/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
