[發明專利]一種平面透射電鏡樣品及其制備方法無效
| 申請號： | 201410059926.8 | 申請日： | 2014-02-21 |
| 公開（公告）號： | CN103868769A | 公開（公告）日： | 2014-06-18 |
| 發明（設計）人： | 陳強 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G01N1/28 | 分類號： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 吳俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 平面 透射 樣品 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種平面透射電鏡樣品，其特征在于，包括樣品本體、目標和油性材料，所述樣品本體上加工有截面，所述目標位于所述樣品本體的截面上，所述油性材料為透光的油性材料，所述油性材料與所述樣品本體的截面連接，所述油性材料涂覆于所述目標之上。
2.如權利要求1所述的平面透射電鏡樣品，其特征在于，所述截面與所述目標的距離為1～5微米。
3.如權利要求2所述的平面透射電鏡樣品，其特征在于，所述油性材料的厚度為10～100微米。
4.如權利要求3所述的平面透射電鏡樣品，其特征在于，所述油性材料為油性油墨。
5.如權利要求4所述的平面透射電鏡樣品，其特征在于，所述油性材料為紅色油性油墨。
6.一種如權利要求1至4任一項所述的平面透射電鏡樣品的制備方法，其特征在于，所述方法包括：
將初始樣品截面加工到距離目標較近的位置；
將初始樣品的目標表面涂上一層透光的油性材料；
使用激光在初始樣品上標記出目標位置；
將初始樣品正面及背面切割和減薄形成樣品本體。
7.如權利要求6所述的平面透射電鏡樣品的制備方法，其特征在于，還包括，提取樣品本體放入平面透射電鏡分析。
8.如權利要求7所述的平面透射電鏡樣品的制備方法，其特征在于，通過聚焦離子束完成初始樣品正面及背面切割和減薄。
9.如權利要求8所述的平面透射電鏡樣品的制備方法，其特征在于，樣品截面在加工后還包括平整工序。
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