[發明專利]一種平面透射電鏡樣品的制備方法無效
| 申請號： | 201410059923.4 | 申請日： | 2014-02-21 |
| 公開（公告）號： | CN103900868A | 公開（公告）日： | 2014-07-02 |
| 發明（設計）人： | 陳強 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G01N1/28 | 分類號： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 吳俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 平面 透射 樣品 制備 方法 | ||
1.一種平面透射電鏡樣品的制備方法，其特征在于，所述方法包括：
步驟1，制備SELA加工所需的第一樣品，所述第一樣品上設有目標區域；
步驟2，使用SELA對所述第一樣品進行裂片，形成包括所述目標區域的第二樣品；
步驟3，將所述第二樣品切割和減薄形成TEM樣品。
2.如權利要求1所述的平面透射電鏡樣品的制備方法，其特征在于，還包括步驟4，提取所述TEM樣品放入TEM分析。
3.如權利要求2所述的平面透射電鏡樣品的制備方法，其特征在于，所述步驟1中的第一樣品的尺寸為20mm×10mm。
4.如權利要求3所述的平面透射電鏡樣品的制備方法，其特征在于，所述步驟1中的目標區域位于所述第一樣品的正中心區域。
5.如權利要求4所述的平面透射電鏡樣品的制備方法，其特征在于，所述步驟2中SELA裂片形成的第二樣品的斷面距離所述目標區域0.5～5um。
6.如權利要求5所述的平面透射電鏡樣品的制備方法，其特征在于，所述步驟3中通過將第二樣品豎直放入FIB，完成第二樣品正面及背面的切割和減薄。
7.如權利要求1所述的平面透射電鏡樣品的制備方法，其特征在于，所述步驟1中通過手動裂片制備出SELA加工所需的第一樣品。
8.如權利要求1所述的平面透射電鏡樣品的制備方法，其特征在于，所述步驟2中SELA裂片所形成的第二樣品的斷面直接穿過目標區域。
9.如權利要求1所述的平面透射電鏡樣品的制備方法，其特征在于，所述步驟3中TEM樣品的厚度為0.1～0.2um。
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