[發明專利]包含具有獨特形貌的磨粒的漿料

有效

• 申請號: 201410059325.7
• 申請日: 2009-09-16
• 公開（公告）號: CN103952120A
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發明（設計）人: 蒂莫西·F·達姆;吳庚賢
• 申請（專利權）人: 戴蒙得創新股份有限公司
• 主分類號: C09K3/14
• 分類號: C09K3/14;C30B33/08;C30B29/04
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 郭國清;穆德駿

1.一種漿料，其包括：

a.多個單晶金剛石微粒，其中所述微粒的平均表面粗糙度為大于0至約0.95；

b.調液，其選自水基調液、二醇基調液、油基調液或烴基調液及其組合；和

c.一種或多種任選的添加劑。

2.權利要求1的漿料，其中所述微粒的平均球度小于約0.70。

3.權利要求2的漿料，其中所述微粒的平均球度為約0.25至約0.6。

4.權利要求1的漿料，其中所述金剛石微粒的濃度為約0.01至約60wt%。

5.權利要求1的漿料，其中所述金剛石微粒的尺寸為約0.1至約100微米。

6.權利要求1的漿料，其中所述添加劑選自分散劑、pH調節劑、表面活性劑、消泡劑、潤濕劑、粘度調節劑、補充磨料和顏色調整劑。

7.權利要求1的漿料，其中與包含相同量的相同尺寸的常規單晶金剛石微粒的漿料相比，工件的總材料去除量提高了至少約20%。

8.權利要求7的漿料，其中所述工件選自：硅、藍寶石、碳化硅、玻璃、石英、氮化鎵、化合物半導體、金屬、陶瓷、碳化物、金屬陶瓷、聚合物、超硬磨料復合物、燒結多晶復合物、石頭和寶石。

9.權利要求1的漿料，其中與包含相同量的相同尺寸的常規單晶金剛石微粒的漿料相比，工件的總材料去除量提高了至少約50%。

10.權利要求1的漿料，其中與包含相同量的相同尺寸的常規單晶金剛石微粒的漿料相比，平均晶片粗糙度降低了至少約20%。

11.權利要求1的漿料，其中與包含相同量的相同尺寸的常規單晶金剛石微粒的漿料相比，工件的總材料去除量提高了至少約20%，且與包含相同量的相同尺寸的常規單晶金剛石微粒的漿料相比，平均晶片粗糙度降低了至少約20%。

12.一種用于制備漿料的方法，其包括如下步驟：

a.提供多個單晶金剛石微粒，其中所述微粒的平均表面粗糙度為大于0至約0.95；

b.提供調液，其選自水基調液、二醇基調液、油基調液或烴基調液及其組合；

c.提供一種或多種任選的添加劑；和

d.將所述微粒、所述調液和所述任選的添加劑組合以形成漿料。

13.權利要求12的方法，其中所述改性微粒的平均重量損失大于所述微粒原始重量的約10%。

14.權利要求12的方法，其中所述微粒的平均球度小于約0.70。

15.權利要求12的方法，其中所述微粒的平均球度為約0.25至約0.6。

16.權利要求12的方法，其中所述微粒的平均表面積比具有相同粒徑分布的常規單晶金剛石微粒高出大于約20%。

17.權利要求12的方法，其中所述微粒的平均尺寸為約0.1至約1000微米。

18.一種漿料，其包括：

a.多個單晶金剛石微粒，其中所述微粒的平均表面粗糙度為大于0至約0.70；

b.調液，其選自水基調液、二醇基調液、油基調液或烴基調液及其組合；和

c.一種或多種任選的添加劑。

19.權利要求18的漿料，其中所述微粒的平均球度為約0.25至約0.6。

20.權利要求18的漿料，其中所述金剛石微粒的濃度為約0.01至約60wt%。

21.權利要求18的漿料，其中所述金剛石微粒的尺寸為約0.1至約100微米。

22.一種漿料，其包括：

a.多個單晶金剛石微粒，其中所述微粒的平均表面粗糙度為大于0至約0.95；

b.調液，其選自水基調液、二醇基調液、油基調液或烴基調液及其組合；和

c.一種或多種任選的添加劑，其選自分散劑、pH調節劑、表面活性劑、消泡劑、潤濕劑、粘度調節劑、補充磨料和顏色調整劑。