[發明專利]立式氧化爐爐體加熱控制裝置

有效

• 申請號: 201410058738.3
• 申請日: 2014-02-20
• 公開（公告）號: CN103759527A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發明（設計）人: 付運濤;張海輪
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: F27B1/26
• 分類號: F27B1/26
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;陶金龍

技術領域

本發明涉及溫度控制技術領域，更具體地說，涉及一種立式氧化爐爐體加熱控制裝置。　?

背景技術

立式氧化爐設備在半導體生產行業不可或缺，無論國產還是進口設備，對于爐體爐絲加熱方式，普遍使用變壓器加功率控制器來直接控制爐絲的升降溫，這種方式在設備正常運行的時候，可以達到良好的功率控制效果。　?

然而，上述控制方式在實際生產中暴露出如下問題：其缺點一是當變壓器啟動時，會有很大的沖擊電流，容易造成斷路器跳閘，不能給爐絲正常供電，除非更換可以抗擊更大沖擊電流的斷路器，才能使得短路保護與過流保護部滿足變壓器的需要；或者，使用軟啟動裝置能夠消除斷路器跳閘現象，但是系統在啟動時間上有延長，運行成本高；上述控制方式的缺點二是當上位機與功率控制器元器件故障后爐體加熱不會主動或即時停止；使用軟啟動方式時，在上位機出現故障的時候也會造成爐體溫度失控，從而對人員與設備安全造成威脅。　?

因此，業內需要一種可避免變壓器啟動時的斷路器跳閘現象，以及能在元器件故障后自動停止加熱的立式氧化爐爐體加熱控制裝置。　?

發明內容

本發明的目的在于提供一種立式氧化爐爐體加熱控制裝置。　?

為實現上述目的，本發明一技術方案如下：　?

一種立式氧化爐爐體加熱控制裝置，包括變壓器、變壓器原邊部件?組、和副邊部件組，變壓器用于將廠房三相交流電壓轉換為加熱爐體爐絲適用的電壓；變壓器原邊部件組包括：主斷路器、第一接觸器；主斷路器一端連接廠房三相交流電壓，另一端連接第一接觸器，第一接觸器還連接變壓器的原邊側；變壓器副邊部件組包括：功率輸出控制器、第二接觸器；功率輸出控制器輸入端連接變壓器的副邊側，輸出端連接第二接觸器，第二接觸器還連接爐體爐絲；其中，第一接觸器控制變壓器原邊得電，第二接觸器控制變壓器副邊向爐體爐絲供電。　?

優選地，變壓器原邊部件組還包括第一繼電器，第一接觸器的線圈與第一繼電器的觸點串接于交流電網上，第一接觸器的開／合動作由第一繼電器線圈的失電／得電狀態控制。　?

優選地，變壓器副邊部件組還包括第二繼電器，第二接觸器的線圈與第二繼電器的觸點串接于交流電網上，第二接觸器的開／合動作由第二繼電器線圈的失電／得電狀態控制。　?

優選地，第一繼電器線圈的失電／得電狀態分別由一斷電開關與一上電開關控制。　?

優選地，上電開關、斷電開關分別為自復位型按鈕。　?

優選地，變壓器原邊部件組還包括第三繼電器，上電開關、斷電開關還與第三繼電器的觸點串接，第三繼電器的線圈失電后，上電開關、斷電開關失效，第一繼電器線圈失電。　?

優選地，第三繼電器的線圈與一主ＰＬＣ控制器連接，主ＰＬＣ控制器控制第三繼電器的動作。　?

優選地，第二繼電器的線圈與主ＰＬＣ控制器連接，主ＰＬＣ控制器控制第二繼電器的動作。　?

優選地，主ＰＬＣ控制器發出第一信號控制第三繼電器線圈得電，以及發出第二信號控制第二繼電器線圈得電，第一信號在時序上先于第二信號。　?

優選地，功率輸出控制器另一輸入端還與一副ＰＬＣ控制器連接，副ＰＬＣ控制器通過功率輸出控制器控制爐體爐絲的加熱功率。　?

本發明提供的立式氧化爐爐體加熱控制裝置，不僅能對爐體進行正?常的升溫控制，還可以消除變壓器啟動時可能發生的斷路器跳閘現象，同時還能夠在上位機或ＰＬＣ斷電后自動停止給爐體及變壓器供電，從而有效防止爐體溫度失控，提升了設備安全性，并能延長變壓器的適用壽命。　?

附圖說明

圖1示出本發明一實施例提供的立式氧化爐爐體加熱控制裝置結構示意圖。　?

具體實施方式

下面結合附圖，對本發明的具體實施方式作進一步的詳細說明。　?

需要說明的是，本發明實施例中各部件均以優選方式指明其具體為何種部件，但非用于限定本發明的范圍；應理解的是，本領域技術人員可對各部件作出簡單的替換或組合或重組并使用，應視為不脫離本發明思想的變形設計，而落入本發明的保護范圍。　?

如圖1所示，本發明一實施例提供一種立式氧化爐爐體加熱控制裝置，其包括：變壓器103、變壓器原邊部件組、和副邊部件組。　?

變壓器103用于將380Ｖ廠房三相交流電壓轉換為加熱爐體爐絲107適用的電壓；變壓器原邊部件組包括：主斷路器101、第一接觸器102；變壓器副邊部件組包括：功率輸出控制器105、第二接觸器106。　?