[發明專利]物聯網射頻收發組件固支魚刺梁振動電磁自供電微傳感器

有效

• 申請號: 201410058498.7
• 申請日: 2014-02-20
• 公開（公告）號: CN103818869A
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發明（設計）人: 廖小平;吳昊
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;B81B3/00
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種物聯網射頻收發組件固支魚刺梁振動電磁自供電微傳感器，其特征在于該微傳感器以砷化鎵襯底（1）為襯底，一個固支梁（3）兩端的固支梁錨區氮化硅（2）分別固定在砷化鎵襯底（1）上，在固支梁（3）上的兩側分別設有三對懸臂梁（4），該懸臂梁（4）的中間一對較長，而兩邊兩對較短且等長，外圍設有整流電路（11）、第一大電容（12）,第二大電容（13）、第一穩壓電路（14）和第二穩壓電路（15）；其中在固支梁（3）兩頭根部的上表面設有具有上下電極板的壓電薄膜作為固支梁振動能量收集結構（5），在三對懸臂梁（4）的上表面各設有一個具有上下電極板的壓電薄膜作為懸臂梁振動能量收集結構（5），在固支梁（3）和三對懸臂梁（4）的下表面設有雙極子天線（6）作為電磁能量收集結構；對于固支梁（3）根部和三對懸臂梁（4）上的振動能量收集結構，設計具有三種不同固有諧振頻率的梁，從而實現較寬頻帶范圍的振動能量的收集，同時抑制了系統結構的抖動；而天線收集了射頻收發組件中的雜散波能量，提高了射頻收發組件的電磁兼容性，而且振動實現了天線多方向的接收。