[發(fā)明專利]一種用于半導(dǎo)體熱處理設(shè)備溫度的監(jiān)控方法及系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410058270.8
• 申請日: 2014-02-20
• 公開（公告）號: CN103760934A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張立超;鐘結(jié)實;劉建濤;黃揚君
• 申請（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號: G05D23/30
• 分類號: G05D23/30;G01K7/02;H01L21/66
• 代理公司: 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

1.一種用于半導(dǎo)體熱處理設(shè)備溫度的監(jiān)控方法，所述半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中包括至少一個控溫區(qū)，所述控溫區(qū)包括熱電偶和加熱單元，其特征在于，所述方法具體包括：

步驟S1：設(shè)置并獲取配置文件，其中，所述配置文件的配置項包括監(jiān)測延時時間、產(chǎn)生警告范圍值、產(chǎn)生終止范圍值、異常穩(wěn)定時間和/或異常穩(wěn)定時間次數(shù)；

步驟S2：在工藝過程中，發(fā)送溫度控制的指令和開啟異步監(jiān)控線程；

步驟S3：獲取所述熱電偶監(jiān)測溫度的實際值，并根據(jù)產(chǎn)生警告范圍值和產(chǎn)生終止范圍值，判斷超出所述產(chǎn)生警告范圍值或產(chǎn)生終止范圍值的時長是否達(dá)到所述異常穩(wěn)定時間的規(guī)定值；

步驟S4：如果是，判斷所述超出次數(shù)是否大于所述異常穩(wěn)定時間的次數(shù)，如果是，故障報警并執(zhí)行相應(yīng)的故障處理；如果不是，繼續(xù)執(zhí)行步驟S3。

2.如權(quán)利要求1所述的監(jiān)控方法，其特征在于，所述步驟S2中，發(fā)送溫度控制的指令和開啟異步監(jiān)控線程后，還包括先根據(jù)所述監(jiān)測延時時間進(jìn)行延時等待指令響應(yīng)的步驟。

3.如權(quán)利要求1所述的監(jiān)控方法，其特征在于，所述步驟S3中判斷超出所述產(chǎn)生警告范圍值或產(chǎn)生終止范圍值的時長是否達(dá)到所述異常穩(wěn)定時間的規(guī)定值具體包括如下步驟：

步驟S31：當(dāng)監(jiān)測溫度實際值大于產(chǎn)生終止范圍值時，判斷是否有實例化的定時器對象，如果沒有，實例化一個定時器對象并開始計時；如果有；執(zhí)行步驟S32；

步驟S32：判斷已經(jīng)存在的定時器對象是否是做警告處理的定時器對象，如果是，釋放已經(jīng)存在定時器對象，并開始計時；

步驟S33：判斷如果定時器對象中的時間是否大于所述異常穩(wěn)定時間的規(guī)定值。

4.如權(quán)利要求1所述的監(jiān)控方法，其特征在于，所述的步驟S3中判斷超出所述產(chǎn)生警告范圍值或產(chǎn)生終止范圍值的時長是否達(dá)到所述異常穩(wěn)定時間的規(guī)定值具體包括如下步驟：

步驟S31′：當(dāng)監(jiān)測溫度實際值小于產(chǎn)生終止范圍值而但大于產(chǎn)生警告范圍值時，判斷是否有實例化的定時器對象，如果沒有，實例化一個定時器對象并開始計時；如果有；執(zhí)行步驟S32′；

步驟S32′：判斷已經(jīng)存在的定時器對象是否是做終止處理的定時器對象，如果是，釋放已經(jīng)存在定時器對象，并開始計時；

步驟S33′：判斷如果定時器對象中的時間是否大于所述異常穩(wěn)定時間的規(guī)定值。

5.如權(quán)利要求1所述的監(jiān)控方法，其特征在于，所述的步驟3中判斷超出所述產(chǎn)生警告范圍值或產(chǎn)生終止范圍值的時長是否達(dá)到所述異常穩(wěn)定時間的規(guī)定值具體包括如下步驟：

步驟S31″：當(dāng)監(jiān)測溫度實際值小于產(chǎn)生警告范圍值時，判斷是否存在做終止處理的定時器對象或做警告處理的定時器對象；

步驟S32″：如果有，釋放已經(jīng)存在做終止處理的定時器對象或做警告處理的定時器對象；

步驟S33″：執(zhí)行步驟3，繼續(xù)進(jìn)行工藝過程。

6.如權(quán)利要求1所述的線程監(jiān)控方法，其特征在于，所述延時等待指令響應(yīng)時間值為幾秒鐘。

7.如權(quán)利要求2、3或4所述的線程監(jiān)控方法，其特征在于，所述的步驟S4具體包括如下步驟：

步驟S41：當(dāng)定時器對象在滿足所述異常穩(wěn)定時間后仍然沒有被釋放，則發(fā)送異常信號；

步驟S42：當(dāng)異常信號連續(xù)所述異常穩(wěn)定的時間次數(shù)產(chǎn)生后則進(jìn)行相應(yīng)的異常處理。

8.一種采用權(quán)利要求1所述方法的監(jiān)控系統(tǒng)，所述半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中包括至少一個控溫區(qū)，所述控溫區(qū)包括熱電偶和加熱單元，其特征在于：

所述系統(tǒng)還包括配置單元、控制單元、處理單元和執(zhí)行單元；所述控制單元給所述熱電偶發(fā)送溫度控制的指令和啟閉異步監(jiān)控線程；所述配置單元設(shè)置配置文件，所述處理單元獲取所述熱電偶監(jiān)測溫度的實際值，并根據(jù)產(chǎn)生警告范圍值和產(chǎn)生終止范圍值，判斷超出所述產(chǎn)生警告范圍值或產(chǎn)生終止范圍值的時長是否達(dá)到所述異常穩(wěn)定時間的規(guī)定值，以及判斷所述超出次數(shù)是否大于所述異常穩(wěn)定的時間次數(shù)；所述執(zhí)行單元進(jìn)行故障報警并執(zhí)行相應(yīng)的故障處理；其中，所述配置文件的配置項包括監(jiān)測延時時間、產(chǎn)生警告范圍值、產(chǎn)生終止范圍值、異常穩(wěn)定時間和/或異常穩(wěn)定時間次數(shù)進(jìn)行設(shè)置。

9.如權(quán)利要求8所述的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述熱電偶接收溫度控制的指令后，根據(jù)所述監(jiān)測延時時間進(jìn)行檢測并反饋檢測值。

10.如權(quán)利要求8所述的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述控制單元和處理單元由上位機(jī)+下位機(jī)架構(gòu)構(gòu)成；其中，下位機(jī)為可編程控制器。