[發明專利]角分辨微納光譜分析裝置

有效

• 申請號: 201410057831.2
• 申請日: 2014-02-20
• 公開（公告）號: CN103884659A
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發明（設計）人: 王永進;方曉靜;賀樹敏;馮姣;朱剛毅;朱洪波
• 申請（專利權）人: 南京郵電大學
• 主分類號: G01N21/25
• 分類號: G01N21/25
• 代理公司: 江蘇愛信律師事務所 32241
• 代理人: 劉琦

1.一種角分辨微納光譜分析裝置，其特征在于，該裝置包括入射光路、與所述入射光路的出射方向對準的樣品臺（7）、用于接收微納光子晶體樣品的透射光并檢測透射角分辨光譜信息的透射光路、用于接收微納光子晶體樣品的反射光并檢測反射角分辨光譜信息的反射光路；

所述入射光路包括依次設置的光纖裝置（1）、準直物鏡（2）、第一光闌（3）、線性偏振片（4）、可移除凸透鏡（5）、分光片（8）、第一物鏡（6），所述分光片（8）的反射面面向第一物鏡（6）并與光路反射方向45°設置，第一物鏡（6）的出射方向對準放置和調整樣品的樣品臺（7），分光片（8）和第一物鏡（6）同時是反射光路的組成部分；

所述反射光路包括第一物鏡（6）、分光片（8）、沿所述分光片（8）的反射方向依次設置的第一凸透鏡（9）、第二光闌（10）、第一反光鏡（11）、第二凸透鏡（12）、第一可移除反光鏡（13）和第一光譜儀（15），以及沿所述第一可移除反光鏡（13）的反射方向依次設置的第三凸透鏡（16）和第一CCD成像裝置（17），所述第一反光鏡（11）與光路入射方向45°設置，所述第一可移除反光鏡（13）的反射面與光路入射方向45°設置，所述第一物鏡（6）的后焦面與第一凸透鏡（9）的光程等于第一凸透鏡（9）的焦距f9，第一凸透鏡（9）的焦點落在第二光闌（10）上，第二光闌（10）和第二凸透鏡（12）的光程等于第二凸透鏡（12）的焦距f12，所述第一光譜儀（15）的光纖探測頭在第一電機（14）的控制下能夠垂直于入射光線軸線運動，實現接收不同角度樣品的傅里葉信息；

所述透射光路包括依次設置的第二物鏡（18）、第四凸透鏡（19）、第二反光鏡（20）、第三光闌（21）、第五凸透鏡（22）、第二可移除反光鏡（23）、第六凸透鏡（26）、第二CCD成像裝置（27），以及沿所述第二可移除反光鏡（23）的反射方向設置的第二光譜儀（25），所述第二反光鏡（20）與光路入射方向45°設置，所述第二可移除反光鏡（23）的反射面與光路入射方向45°設置，所述第二物鏡（18）的后焦面與第四凸透鏡（19）的光程等于第四凸透鏡（19）的焦距f19，第四凸透鏡（19）與第三光闌（21）的光程等于第四凸透鏡（19）的焦距，第五凸透鏡（22）的焦點落在第三光闌（21）上，所述第二光譜儀（25）的光纖探測頭在第二電機（24）的控制下能夠垂直于入射光線軸線運動，實現接收不同角度樣品的傅里葉信息。