[發(fā)明專利]等離子增強化學氣相沉積裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410057811.5
• 申請日: 2014-02-20
• 公開（公告）號: CN103789750A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭建毅;楊群峰;莊明鳳;鄭高峰;馬少宇
• 申請（專利權(quán)）人: 廈門大學
• 主分類號: C23C16/513
• 分類號: C23C16/513
• 代理公司: 廈門南強之路專利事務(wù)所(普通合伙) 35200
• 代理人: 馬應(yīng)森

1.等離子增強化學氣相沉積裝置，其特征在于設(shè)有沉積薄膜的PECVD裝置和為沉積薄膜提供超高頻振動能量的超高頻激振裝置；

所述沉積薄膜的PECVD裝置設(shè)有氣體輸送控制裝置、射頻電源、上蓋、噴射支持部、氣體分配板、夾具、收集板、加熱器、控制閥、機械泵、分子泵、排氣管路、測溫傳感器、密封圈、激振梁、反應(yīng)室、測壓傳感器、進氣管路、壓力控制器和溫度控制器；所述氣體輸送控制裝置設(shè)有氣體存儲室、安裝開關(guān)、流量閥、氣體混合室、開關(guān)、流量閥和氣體輸出管路；所述氣體輸送控制裝置安裝于上蓋外部，氣體輸送控制裝置氣體輸出管路與PECVD裝置的進氣管路相連接，射頻電源置于上蓋外部，射頻電源的射頻端部連接于噴射支持部，氣體分配板、噴射支持部置于上蓋內(nèi)部，進氣管路與噴射支持部的進氣孔連接，氣體分配板與噴射支持部通過螺栓連接，收集板、激振梁置于上蓋內(nèi)部，收集板置于激振梁上表面，由夾具夾持力使收集板緊貼于激振梁表面，夾具通過螺栓與激振梁連接，進氣管路與上蓋、排氣管路與加熱器和上蓋、激振梁與上蓋分別用橡膠密封圈連接，激振梁接地，測溫傳感器貼附于加熱器表面，測溫傳感器數(shù)據(jù)輸出端連接于溫度控制器，溫度控制器的控制數(shù)據(jù)輸出端與加熱器連接，加熱器安裝于上蓋下部，測壓傳感器貼附于上蓋的內(nèi)壁，測壓傳感器的數(shù)據(jù)輸出端連接于壓力控制器，壓力控制器數(shù)據(jù)輸出端連接于機械泵、分子泵，壓力控制器、溫度控制器安裝于上蓋外部，機械泵、分子泵安裝于上蓋外部并與氣體輸出管路連接，氣體輸送控制裝置各氣體存儲室和氣體混合室之間安裝開關(guān)和流量閥，在氣體混合室和輸出管路之間安裝開關(guān)和流量閥，輸出管路和進氣管路連接；超高頻激振裝置安裝于激振梁的端部，輸出桿與連接環(huán)焊接在一起，連接環(huán)與激振梁螺栓連接。