[發明專利]化學品中央共酸系統用連接裝置

有效

• 申請號: 201410056543.5
• 申請日: 2014-02-19
• 公開（公告）號: CN104843626B
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發明（設計）人: 李成
• 申請（專利權）人: 北大方正集團有限公司;深圳方正微電子有限公司
• 主分類號: B67D7/78
• 分類號: B67D7/78
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205
• 代理人: 劉芳,張洋

技術領域

本發明涉及半導體生產設備技術，尤其涉及一種化學品中央共酸系統用連接裝置。

背景技術

半導體生產所需的化學品要求是高潔凈度的，一般生產所需的化學品大多是通過化學品中央共酸系統供應到使用機臺的?；瘜W品中央共酸系統中的化學品都是專門的生產廠商提供的使用200升的化學品盛裝桶盛裝的，故化學品中央共酸系統與化學品盛裝桶之間必須有連接裝置才能順利的將化學品輸送到使用機臺。

為了保證化學品盛裝桶內的化學品的品質要求化學品盛裝桶內的化學品不能與空氣接觸，需氮封供應，化學品中央共酸系統為了能進行取樣和檢查系統本身的狀態，配備了供液管道、回液管道及補氣管道，供液管道通過供液端連接裝置與化學品盛裝桶連接，回液管道及補氣管道通過回液端連接裝置與化學品盛裝桶連接，其中需要通過補氣管道向化學品盛裝桶內補充氮氣以保證化學品盛裝桶內正壓，以保證化學品中央共酸系統的泵浦運行時，容器不會因為內部的化學品被抽空而導致化學品盛裝桶變形。

現有的連接裝置，密封不嚴密，從而易導致化學品噴出，并影響化學品盛裝桶內化學品的品質。

發明內容

本發明提供一種化學品中央共酸系統用連接裝置，以提高密封效果。

本發明提供一種化學品中央共酸系統用連接裝置，包括：

固定體，所述固定體中沿軸向設有液體通道，所述液體通道的第一端用于連通化學品中央共酸系統的供液管道或回液管道，所述液體通道第二端用于與化學品盛裝桶內連通；

旋轉體，套設在所述固定體上并能夠相對于所述固定體轉動，所述旋轉體包括操作部分和螺紋部分，所述螺紋部分的第一端與所述操作部分朝向所述液體通道的第二端的端部連接，所述螺紋部分用于與化學品盛裝桶的端口螺紋連接，所述操作部分與螺紋部分之間設有第一密封圈，用于在所述旋轉體與所述端口之間形成密封，所述螺紋部分的第二端與所述固定體之間設有第二密封圈；

驅動裝置，所述驅動裝置用于驅動所述旋轉體沿所述固定體的軸向運動，使所述螺紋部分的第二端與所述固定體配合壓緊所述第二密封圈，以在所述旋轉體與所述固定體之間形成密封。

基于上述，本發明提供的化學品中央共酸系統用連接裝置，在使用過程中，將化學品中央共酸系統的供液管道或回液管道與液體通道的第一端連通，并將液體通道的第二端放置于化學品盛裝桶的端口中，從而使化學品盛裝桶與供液管道或回液管道連通，之后通過對旋轉體的操作部分施力，使旋轉體相對于固定體旋轉，從而使螺紋部分與化學品盛裝桶的端口螺紋連接，由于操作部分與螺紋部分之間設有第一密封圈，因此在旋緊過程中第一密封圈能夠在旋轉體與端口之間形成密封，之后通過驅動裝置驅動旋轉體沿固定體的軸向運動，由于螺紋部分的第二端與固定體之間設有第二密封圈，因此能夠使螺紋部分的第二端與固定體配合壓緊第二密封圈，從而在旋轉體與固定體之間形成密封，由此實現了連接裝置與化學品盛裝桶之間的完全密封，達到了良好的密封效果，避免了化學品噴出，保證了化學品盛裝桶內化學品的品質。

附圖說明

圖1為本發明實施例提供的一種化學品中央共酸系統用連接裝置的使用狀態示意圖；

圖2為本發明實施例提供的一種化學品中央共酸系統用連接裝置的結構示意圖；

圖3為本發明實施例提供的另一種化學品中央共酸系統用連接裝置的結構示意圖。

附圖標記：

100：連接裝置； 101：固定體； 102：液體通道；

103：旋轉體； 104：操作部分； 105：螺紋部分；

106：第一密封圈； 107：第二密封圈； 108：驅動裝置；

109：限位卡環； 110：氣體通道； 201：供液管道；

202：回液管道； 203：補氣管道； 301：化學品盛裝桶。

具體實施方式