[發(fā)明專利]基于液晶狹縫波導(dǎo)的微環(huán)諧振腔型可調(diào)諧光濾波器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410056302.0
• 申請日: 2014-02-19
• 公開（公告）號: CN103760699A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張敏明;戴競;劉德明
• 申請（專利權(quán)）人: 華中科技大學
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;G02F1/1343
• 代理公司: 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 11302
• 代理人: 劉杰

1.一種基于液晶狹縫波導(dǎo)的微環(huán)諧振腔型可調(diào)諧光濾波器，其特征在于，包括：

襯底；

第一直波導(dǎo)及第二直波導(dǎo)；所述第一直波導(dǎo)、和/或、所述第二直波導(dǎo)內(nèi)設(shè)有狹縫結(jié)構(gòu)，所述第一直波導(dǎo)及所述第二直波導(dǎo)分別設(shè)置在所述襯底上，且所述第一直波導(dǎo)與所述第二直波導(dǎo)相互平行；所述第一直波導(dǎo)與所述第二直波導(dǎo)的寬度是100nm-1000nm；所述第一直波導(dǎo)與所述第二直波導(dǎo)的高度是100nm-1000nm；

微環(huán)波導(dǎo)；所述微環(huán)波導(dǎo)內(nèi)設(shè)有狹縫結(jié)構(gòu)，所述微環(huán)波導(dǎo)設(shè)置在所述襯底上，所述微環(huán)波導(dǎo)位于所述第一直波導(dǎo)與所述第二直波導(dǎo)二者之間；所述微環(huán)波導(dǎo)與所述第一直波導(dǎo)之間的間隔距離是10nm-1000nm、和/或、所述微環(huán)波導(dǎo)與所述第二直波導(dǎo)之間的間隔距離是10nm-1000nm；

第一電極及第二電極；所述第一電極設(shè)置在所述微環(huán)波導(dǎo)的內(nèi)圓環(huán)區(qū)域，所述第二電極設(shè)置在所述微環(huán)波導(dǎo)的外圓環(huán)區(qū)域；所述第一電極外接電壓源及所述第二電極接地、或者、所述第二電極外接電壓源及所述第一電極接地；

上包層；所述上包層分別覆蓋在所述第一直波導(dǎo)、所述第二直波導(dǎo)、所述微環(huán)波導(dǎo)、所述第一電極和所述第二電極上，以及所述上包層填充在所述狹縫結(jié)構(gòu)內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微環(huán)諧振腔型可調(diào)諧光濾波器，其特征在于：

所述微環(huán)波導(dǎo)包括：內(nèi)環(huán)波導(dǎo)及外環(huán)波導(dǎo)；

所述內(nèi)環(huán)波導(dǎo)與所述外環(huán)波導(dǎo)分別設(shè)置在所述襯底上，且所述內(nèi)環(huán)波導(dǎo)與所述外環(huán)波導(dǎo)位于所述第一直波導(dǎo)與所述第二直波導(dǎo)二者之間；所述外環(huán)波導(dǎo)與所述第一直波導(dǎo)之間的間隔距離是10nm-1000nm、和/或、所述外環(huán)波導(dǎo)與所述第二直波導(dǎo)之間的間隔距離是10nm-1000nm；所述內(nèi)環(huán)波導(dǎo)的外側(cè)邊緣部位與所述外環(huán)波導(dǎo)的內(nèi)側(cè)邊緣部位相距10nm-1000nm構(gòu)成所述微環(huán)波導(dǎo)的狹縫結(jié)構(gòu)；所述第一電極設(shè)置在所述內(nèi)環(huán)波導(dǎo)的內(nèi)圓環(huán)區(qū)域，所述第二電極設(shè)置在所述外環(huán)波導(dǎo)的外圓環(huán)區(qū)域；所述上包層分別覆蓋在所述第一直波導(dǎo)、所述第二直波導(dǎo)、所述內(nèi)環(huán)波導(dǎo)、所述外環(huán)波導(dǎo)、所述第一電極和所述第二電極上，以及所述上包層填充在所述狹縫結(jié)構(gòu)內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微環(huán)諧振腔型可調(diào)諧光濾波器，其特征在于：

所述微環(huán)波導(dǎo)包括內(nèi)環(huán)波導(dǎo)、中環(huán)波導(dǎo)及外環(huán)波導(dǎo)；

所述內(nèi)環(huán)波導(dǎo)、所述中環(huán)波導(dǎo)及所述外環(huán)波導(dǎo)分別設(shè)置在所述襯底上，所述中環(huán)波導(dǎo)位于所述內(nèi)環(huán)波導(dǎo)及所述外環(huán)波導(dǎo)二者之間；所述內(nèi)環(huán)波導(dǎo)、所述中環(huán)波導(dǎo)及所述外環(huán)波導(dǎo)分別位于所述第一直波導(dǎo)與所述第二直波導(dǎo)二者之間；所述外環(huán)波導(dǎo)與所述第一直波導(dǎo)之間的間隔距離是10nm-1000nm、和/或、所述外環(huán)波導(dǎo)與所述第二直波導(dǎo)之間的間隔距離是10nm-1000nm；所述內(nèi)環(huán)波導(dǎo)設(shè)置在所述外環(huán)波導(dǎo)的內(nèi)圓環(huán)區(qū)域內(nèi)；且所述內(nèi)環(huán)波導(dǎo)的外側(cè)邊緣部位與所述外環(huán)波導(dǎo)的內(nèi)側(cè)邊緣部位相距10nm-1000nm；所述內(nèi)環(huán)波導(dǎo)與所述中環(huán)波導(dǎo)之間的縫隙和所述外環(huán)波導(dǎo)與所述中環(huán)波導(dǎo)之間的縫隙分別對應(yīng)構(gòu)成所述狹縫機構(gòu)；所述第一電極設(shè)置在所述內(nèi)環(huán)波導(dǎo)的內(nèi)圓環(huán)區(qū)域，所述第二電極設(shè)置在所述外環(huán)波導(dǎo)的外圓環(huán)區(qū)域；所述第一電極外接電壓源及所述第二電極接地、或者、所述第二電極外接電壓源及所述第一電極接地；所述上包層分別覆蓋在所述第一直波導(dǎo)、所述第二直波導(dǎo)、所述內(nèi)環(huán)波導(dǎo)、所述中環(huán)波導(dǎo)、所述外環(huán)波導(dǎo)、所述第一電極和所述第二電極上，以及所述上包層填充在所述狹縫結(jié)構(gòu)內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的微環(huán)諧振腔型可調(diào)諧光濾波器，其特征在于：

所述內(nèi)環(huán)波導(dǎo)包括：第一條形波導(dǎo)及第一平板波導(dǎo)；所述第一條形波導(dǎo)的高度是100nm-1000nm；所述第一平板波導(dǎo)的高度是10nm-1000nm；所述第一條形波導(dǎo)設(shè)置在所述第一平板波導(dǎo)的端部且二者截面呈U型結(jié)構(gòu)；所述第一電極設(shè)置在所述第一平板波導(dǎo)上；

以及，

所述外環(huán)波導(dǎo)包括：第二條形波導(dǎo)及第二平板波導(dǎo)；所述第二條形波導(dǎo)的高度是100nm-1000nm；所述第二平板波導(dǎo)的高度是10nm-1000nm；所述第二條形波導(dǎo)設(shè)置在所述第二平板波導(dǎo)的端部且二者截面呈L型結(jié)構(gòu)；所述第二電極設(shè)置在所述第二平板波導(dǎo)上；所述第二條形波導(dǎo)的側(cè)面與所述第一條形波導(dǎo)的側(cè)面相距10nm-1000nm構(gòu)成所述微環(huán)波導(dǎo)的狹縫結(jié)構(gòu)。