[發明專利]鐵氧體薄膜形成用組合物及鐵氧體薄膜的形成方法

無效

• 申請號: 201410055661.4
• 申請日: 2014-02-19
• 公開（公告）號: CN104078189A
• 公開（公告）日: 2014-10-01
• 發明（設計）人: 土井利浩;櫻井英章;曽山信幸;中村賢蔵;五十嵐和則
• 申請（專利權）人: 三菱綜合材料株式會社
• 主分類號: H01F10/20
• 分類號: H01F10/20;H01F41/24
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 康泉;王珍仙

1.一種鐵氧體薄膜形成用組合物，用于通過溶膠-凝膠法形成以（Ni_1-xZn_xO）_t（Fe₂O₃）_s、（Cu_1-xZn_xO）_t（Fe₂O₃）_s或（Ni_0.80-yCu_0.20Zn_yO）_t（Fe₂O₃）_s表示組成的鐵氧體薄膜，其中，所述x滿足0＜x＜1，所述y滿足0＜y＜0.80，所述s、t分別滿足0.95≤s≤1.05、0.95≤t≤1.05，且滿足s+t=2，

該組合物含有：

金屬原料、及

含N-甲基吡咯烷酮的溶劑，

將所述組合物總量設為100質量%時，所述N-甲基吡咯烷酮的比例為30～60質量%。

2.根據權利要求1所述的鐵氧體薄膜形成用組合物，其中，

所述金屬原料為Ni、Zn、Cu或Fe的金屬醇鹽、乙酸鹽、環烷酸鹽或硝酸鹽。

3.根據權利要求1或2所述的鐵氧體薄膜形成用組合物，其中，

以所述（Ni_1-xZn_xO）_t（Fe₂O₃）_s表示組成的鐵氧體薄膜中，所述x在0.10≤x≤0.65的范圍內。

4.根據權利要求1或2所述的鐵氧體薄膜形成用組合物，其中，

以所述（Cu_1-xZn_xO）_t（Fe₂O₃）_s表示組成的鐵氧體薄膜中，所述x在0.20≤x≤0.80的范圍內。

5.根據權利要求1或2所述的鐵氧體薄膜形成用組合物，其中，

以所述（Ni_0.80-yCu_0.20Zn_yO）_t（Fe₂O₃）_s表示組成的鐵氧體薄膜中，所述y在0.20≤y≤0.40的范圍內。

6.一種鐵氧體薄膜的形成方法，其通過溶膠-凝膠法利用權利要求1至5中任一項所述的鐵氧體薄膜形成用組合物來進行成膜。