[發(fā)明專利]波長(zhǎng)可變干涉濾波器、濾光器設(shè)備、光模塊及電子設(shè)備在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410055167.8 | 申請(qǐng)日： | 2014-02-18 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN104007497A | 公開（公告）日： | 2014-08-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 新東晉;坂下友樹 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 精工愛普生株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | G02B5/28 | 分類號(hào)： | G02B5/28;G02B26/00 |
| 代理公司： | 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240 | 代理人： | 余剛;吳孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 波長(zhǎng) 可變 干涉 濾波器 濾光 設(shè)備 模塊 電子設(shè)備 | ||
1.一種波長(zhǎng)可變干涉濾波器，其特征在于，具備：
第一基板；
第二基板，與所述第一基板相對(duì)；
第一反射膜，設(shè)置于所述第一基板；
第二反射膜，設(shè)置于所述第二基板，與所述第一反射膜相對(duì)配置；
導(dǎo)電性的第一導(dǎo)電膜，層疊于所述第一反射膜；
導(dǎo)電性的第二導(dǎo)電膜，層疊于所述第二反射膜；
第一連接電極，設(shè)置于所述第一基板，在所述第一基板上與所述第一導(dǎo)電膜電連接；以及
第二連接電極，設(shè)置于所述第二基板，在所述第二基板上與所述第二導(dǎo)電膜電連接，
所述第一連接電極的厚度尺寸形成得大于所述第一反射膜的厚度尺寸和所述第一導(dǎo)電膜的厚度尺寸的和，
所述第一連接電極從所述第一基板的表面延伸至所述第一導(dǎo)電膜的外緣部的表面并接觸，
所述第二連接電極的厚度尺寸形成得大于所述第二反射膜的厚度尺寸和所述第二導(dǎo)電膜的厚度尺寸的和，
所述第二連接電極從所述第二基板的表面延伸至所述第二導(dǎo)電膜的外緣部的表面并接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)可變干涉濾波器，其特征在于，
至少所述第一連接電極及所述第二連接電極中的一個(gè)與所述第一導(dǎo)電膜或所述第二導(dǎo)電膜的外緣部的整周接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)可變干涉濾波器，其特征在于，
所述第一導(dǎo)電膜及所述第二導(dǎo)電膜是透明導(dǎo)電膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)可變干涉濾波器，其特征在于，
所述第一導(dǎo)電膜及所述第二導(dǎo)電膜的材料是從銦類氧化物、錫類氧化物、鋅類氧化物及他們的混合物中選擇的材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)可變干涉濾波器，其特征在于，
所述第一反射膜及所述第二反射膜的材料是Ag或以Ag為主成分的合金。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的波長(zhǎng)可變干涉濾波器，其特征在于，
所述第二基板具備：
可動(dòng)部，設(shè)置有所述第二反射膜；以及
保持部，在從基板厚度方向俯視觀察所述第二基板時(shí)，設(shè)置在所述可動(dòng)部的外側(cè)，所述保持部的厚度尺寸小于所述可動(dòng)部的厚度尺寸，所述保持部保持所述可動(dòng)部能進(jìn)退。
7.一種波長(zhǎng)可變干涉濾波器，其特征在于，具備：
反射膜，反射入射的光的一部分并使一部分透過；
導(dǎo)電性的導(dǎo)電膜，層疊于所述反射膜；以及
連接電極，與所述導(dǎo)電膜電連接，
所述連接電極的厚度尺寸形成得大于所述反射膜的厚度尺寸和所述導(dǎo)電膜的厚度尺寸的和，
所述連接電極與所述導(dǎo)電膜的外緣部的表面重疊接觸。
8.一種濾光器設(shè)備，其特征在于，具備：
波長(zhǎng)可變干涉濾波器；以及
殼體，收容所述波長(zhǎng)可變干涉濾波器，
所述波長(zhǎng)可變干涉濾波器具備：
第一基板；
第二基板，與所述第一基板相對(duì)；
第一反射膜，設(shè)置于所述第一基板；
第二反射膜，設(shè)置于所述第二基板，與所述第一反射膜相對(duì)配置；
導(dǎo)電性的第一導(dǎo)電膜，層疊于所述第一反射膜；
導(dǎo)電性的第二導(dǎo)電膜，層疊于所述第二反射膜；
第一連接電極，設(shè)置于所述第一基板，在所述第一基板上與所述第一導(dǎo)電膜電連接；以及
第二連接電極，設(shè)置于所述第二基板，在所述第二基板上與所述第二導(dǎo)電膜電連接，
所述第一連接電極的厚度尺寸形成得大于所述第一反射膜的厚度尺寸和所述第一導(dǎo)電膜的厚度尺寸的和，
所述第一連接電極從所述第一基板的表面延伸至所述第一導(dǎo)電膜的外緣部的表面并接觸，
所述第二連接電極的厚度尺寸形成得大于所述第二反射膜的厚度尺寸和所述第二導(dǎo)電膜的厚度尺寸的和，
所述第二連接電極從所述第二基板的表面延伸至所述第二導(dǎo)電膜的外緣部的表面并接觸。
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