[發明專利]用于化學氣相沉積的等離子炬在審
| 申請號： | 201410054579.X | 申請日： | 2014-02-18 |
| 公開（公告）號： | CN104302082A | 公開（公告）日： | 2015-01-21 |
| 發明（設計）人： | 李國華;王志娜;高亮 | 申請（專利權）人： | 河北普萊斯曼金剛石科技有限公司 |
| 主分類號： | H05H1/34 | 分類號： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 北京神州華茂知識產權有限公司 11358 | 代理人： | 吳照幸 |
| 地址： | 050081 河北*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 化學 沉積 等離子 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于化學氣相沉積的等離子炬，包括上部的陰極、位于陰極正下部的陽極、同心套裝在陰極外部的圓筒形輔助電極，其特征是：所述的輔助電極至少一個，陰極和輔助電極之間設有隔離密封環，相鄰的輔助電極之間設有隔離密封環，最外層輔助電極外部套裝有磁場線包，所述的陽極為環形的中空管，并連接有進出水導管。
2.根據權利要求1所述的用于化學氣相沉積的等離子炬，其特征是：所述的陽極的橫截面為方形，或者為圓形。
3.根據權利要求1所述的用于化學氣相沉積的等離子炬，其特征是：所述的輔助電極下部加寬。
4.根據權利要求1所述的用于化學氣相沉積的等離子炬，其特征是：所述的隔離環密封環由耐熱的絕緣材料制成，其上開有進氣道，其中至少有一個是切向進氣。
5.根據權利要求1所述的用于化學氣相沉積的等離子炬，其特征是：所述的輔助電極由雙層金屬管焊接而成，內設水冷夾層。
6.根據權利要求1所述的用于化學氣相沉積的等離子炬，其特征是：所述的輔助電極不接電源的正極或負極。
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