[發(fā)明專利]陶瓷基板表面導(dǎo)電線路的制作與修復(fù)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410054076.2
• 申請日: 2014-02-18
• 公開（公告）號: CN103781285A
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 呂銘;劉建國;曾曉雁
• 申請（專利權(quán)）人: 華中科技大學(xué)
• 主分類號: H05K3/20
• 分類號: H05K3/20;H05K3/38
• 代理公司: 華中科技大學(xué)專利中心 42201
• 代理人: 曹葆青

1.一種陶瓷基板表面導(dǎo)電線路的制作與修復(fù)方法，其步驟為：

(1)將陶瓷基板整體浸泡在含有特定金屬離子或金屬絡(luò)離子的溶液中，然后取出干燥；或?qū)⒑刑囟ń饘匐x子或金屬絡(luò)離子的溶液僅預(yù)置在基材上所設(shè)計的線路圖形位置，然后干燥，形成均勻的固態(tài)薄膜；

(2)利用激光束按照預(yù)先設(shè)計的線路圖形，對陶瓷基板表面進(jìn)行加工處理，使其表面僅薄層發(fā)生熔化，同時使固態(tài)薄膜中特定金屬離子或金屬絡(luò)離子還原成原子態(tài)并與基板材料混合；激光束離開時，活化金屬凝固并團(tuán)聚成微小顆粒植入基板材料表面，使得金屬顆粒與基板形成牢固結(jié)合，完成活化金屬顆粒的埋植，并得到導(dǎo)電圖形的隱形形貌；

(3)清洗陶瓷基板的表面，以去除未經(jīng)激光處理區(qū)域表面的上述特定金屬離子或金屬絡(luò)離子；

(4)將清洗后的陶瓷基板放入化學(xué)鍍液中實施金屬化學(xué)鍍，得到導(dǎo)電線路。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陶瓷基板表面導(dǎo)電線路的制作與修復(fù)方法，其特征在于，所述陶瓷基板為二維或三維陶瓷材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陶瓷基板表面導(dǎo)電線路的制作與修復(fù)方法，其特征在于，所述特定金屬離子或金屬絡(luò)離子的溶液是指包含鋁、錳、鋅、錫、銦、鈷、鉻、鐵、鎳、銅、鈀、鉑、金、鎢、鉬、銠、釕的離子或其絡(luò)離子的至少一種組成的溶液，溶液濃度通常為0.01～1mol/L。

4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的陶瓷基板表面導(dǎo)電線路的制作與修復(fù)方法，其特征在于，步驟(2)中，所述激光束為連續(xù)激光，準(zhǔn)連續(xù)或者脈寬為納秒或皮秒量級的脈沖激光。

5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的陶瓷基板表面導(dǎo)電線路的制作與修復(fù)方法，其特征在于，步驟(2)中，所述激光束的掃描速度一般選擇10mm／s～1m／s之間，對應(yīng)的激光功率密度通常在1×10²W／cm²～1×10¹⁰W／cm²之間，單道掃描線的寬度為10μm～500μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的陶瓷基板表面導(dǎo)電線路的制作與修復(fù)方法，其特征在于，步驟(2)中，當(dāng)陶瓷基板表面為曲面時，利用掃描振鏡對曲面表面微區(qū)域激光輻照并配合三軸聯(lián)動數(shù)控機床工作臺的移動實現(xiàn)三維加工。