[發明專利]電鍍工藝的可調整電流屏蔽

無效

• 申請號: 201410054049.5
• 申請日: 2014-02-18
• 公開（公告）號: CN103993345A
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發明（設計）人: G·W·桑德曼;K·斯瑞;C·施羅伊夫
• 申請（專利權）人: 格羅方德半導體公司
• 主分類號: C25D21/12
• 分類號: C25D21/12
• 代理公司: 北京戈程知識產權代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽

1.一種鍍覆設備，包含：

適用于容置基板的基板保持器；

陽極；以及

置于該基板保持器與該陽極之間的可調整式電流屏蔽，其中，該可調整式電流屏蔽包含：

固定式構件；

適用于相對于該固定式構件移動的可移動式構件；以及

有效耦接至該固定式構件與該可移動式構件的多個電流屏蔽構件，其中，該多個電流屏蔽構件的每一個可轉動地釘于該固定式構件或該可移動式構件之一，以及其中，該電流屏蔽構件的每一個適用于在該可移動式構件與該固定式構件之間有相對移動時轉動。

2.根據權利要求1所述的設備，其中，該基板保持器垂直置于該陽極上方，以及該可調整式電流屏蔽垂直置于該陽極上方。

3.根據權利要求1所述的設備，其中，該基板保持器、該陽極和該可調整式電流屏蔽各為實質垂直取向，以及其中，該可調整式電流屏蔽橫置于該基板保持器與該陽極之間。

4.根據權利要求1所述的設備，其中，所述固定式和可移動式構件各具有環形配置。

5.根據權利要求1所述的設備，進一步包含用于相對于該固定式構件移動該可移動式構件的機構。

6.根據權利要求1所述的設備，進一步包含有效耦接至該可移動式構件的多個齒輪齒。

7.根據權利要求1所述的設備，進一步包含有效耦接至該可移動式構件的杠桿。

8.根據權利要求1所述的設備，其中，當該可調整式電流屏蔽處于完全封閉位置時，該多個電流屏蔽構件的每一個的一部分與相鄰電流屏蔽構件的一部分重疊。

9.根據權利要求1所述的設備，其中，當該可調整式電流屏蔽處于完全封閉位置時，該多個電流屏蔽構件的每一個的一部分與相鄰電流屏蔽構件的一部分重疊并且接觸。

10.一種鍍覆設備，包含：

適用于容置基板的基板保持器；

陽極；以及

置于該基板保持器與該陽極之間的可調整式電流屏蔽，其中，該可調整式電流屏蔽包含：

固定式構件；

適用于相對于該固定式構件移動的可移動式構件；以及

有效耦接至該固定式構件與該可移動式構件的多個電流屏蔽構件，其中，該多個電流屏蔽構件的每一個可轉動地釘于該固定式構件或該可移動式構件之一，以及其中，該電流屏蔽構件的每一個的一部分適用于在該可移動式構件與該固定式構件之間取決相對移動的方向而有相對移動時朝內或朝外移動。

11.根據權利要求10所述的設備，其中，當該可調整式電流屏蔽處于完全封閉位置時，該多個電流屏蔽構件的每一個的一部分與相鄰電流屏蔽構件的一部分重疊。

12.根據權利要求11所述的設備，其中，當該可調整式電流屏蔽處于完全封閉位置時，該多個電流屏蔽構件的每一個的一部分與相鄰電流屏蔽構件的一部分重疊并且接觸。

13.根據權利要求10所述的設備，其中，該基板保持器垂直置于該陽極上方，以及該可調整式電流屏蔽垂直置于該陽極上方。

14.根據權利要求10所述的設備，其中，該基板保持器、該陽極和該可調整式電流屏蔽各為實質垂直取向，以及其中，該可調整式電流屏蔽橫置于該基板保持器與該陽極之間。

15.一種鍍覆設備，包含：

適用于容置基板的基板保持器；

陽極；以及

置于該基板保持器與該陽極之間的可調整式電流屏蔽，其中，該可調整式電流屏蔽包含：

固定環；

適用于相對于該固定環移動的可移動環；以及

有效耦接至該固定環與該可移動環的多個電流屏蔽構件，其中，該多個電流屏蔽構件的每一個可轉動地釘于該固定環或該可移動環之一，以及其中，該電流屏蔽構件的每一個適用于在該可移動環與該固定環之間有相對移動時轉動，藉此取決于相對移動的方向將該電流屏蔽構件的每一個的一部分徑向地朝內或朝外移動。

16.根據權利要求15所述的設備，其中，該基板保持器置于該陽極上方，以及該可調整式電流屏蔽置于該陽極上方。

17.根據權利要求15所述的設備，進一步包含用于相對于該固定式構件移動該可移動式構件的機構。