[發(fā)明專利]一種超聲鍵合壓力的識(shí)別方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410053685.6
• 申請(qǐng)日: 2014-02-17
• 公開（公告）號(hào): CN103852203B
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮武衛(wèi);李鵬鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江海洋學(xué)院
• 主分類號(hào): G01L5/00
• 分類號(hào): G01L5/00;G01R19/00
• 代理公司: 寧波市鄞州甬致專利代理事務(wù)所(普通合伙)33228
• 代理人: 王樹鏞

1.一種超聲鍵合壓力的識(shí)別方法，其特征在于：

鍵合壓力的增加，超聲電壓包絡(luò)幅值逐步增大，而電流包絡(luò)幅值逐步減小，根據(jù)其相互變化建立公式評(píng)估鍵合壓力；鍵合壓力的變化從0.2N到0.7N依次增加，間隔為0.1N，一共安排了6組實(shí)驗(yàn)，其它3個(gè)工藝參數(shù)固定為：鍵合時(shí)間：15ms，超聲功率：25mW，加載溫度：200℃；

式中：

F —— 鍵合壓力評(píng)估值；

n —— 數(shù)據(jù)長(zhǎng)度；

x_i，y_i—— 超聲電壓信號(hào)和電流信號(hào)，；

—— 調(diào)整系數(shù)；

實(shí)驗(yàn)時(shí)每組實(shí)驗(yàn)對(duì)應(yīng)一個(gè)壓力點(diǎn)，每組實(shí)驗(yàn)分別測(cè)量10個(gè)樣本，通過多組數(shù)據(jù)的計(jì)算，取其平均值，得到均值γ，最后就可以得到計(jì)算超聲鍵合壓力的計(jì)算公式值了。