[發明專利]可變形鏡及其制造方法

無效

• 申請號: 201410053614.6
• 申請日: 2014-02-18
• 公開（公告）號: CN103995350A
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發明（設計）人: 玉森研而;島田康弘;水谷文昭
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;G02B26/06;A61B3/14;A61B3/12
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 宋巖

1.一種可變形鏡，包括：

具有連續反射表面的鏡基板；以及

在多個接合部處與所述鏡基板相連接的多個致動器，

其中，所述鏡基板具有第一區域和比所述第一區域厚的第二區域，并且所述第一區域是在所述接合部周圍形成的。

2.根據權利要求1所述的可變形鏡，其中，每個第一區域具有被形成為圍繞所述接合部中的相應一個的連續區域或離散區域。

3.根據權利要求1所述的可變形鏡，其中，所述鏡基板在要連接所述致動器的表面上在所述第一區域中具有凹陷。

4.根據權利要求1所述的可變形鏡，其中，所述鏡基板的厚度從每個第一區域到第二區域逐漸增大。

5.根據權利要求1所述的可變形鏡，其中，所述鏡基板在所述鏡基板的周緣部處與固定所述多個致動器的固定部相連接，并且所述鏡基板在與所述固定部連接的接合部的內周上也包括所述第一區域。

6.根據權利要求1所述的可變形鏡，其中，在每個接合部中，柱和墊介于所述鏡基板與相應的致動器之間。

7.根據權利要求1所述的可變形鏡，其中，所述多個致動器中的每一個包括：

與所述鏡基板相連接的可動部；

可動梳狀驅動電極，其由所述可動部支撐并在與所述鏡基板的反射表面平行的方向上延伸；

支撐所述可動部的支撐部；以及

固定梳狀驅動電極，其由所述支撐部支撐，在與所述鏡基板的反射表面平行的方向上延伸，并且布置為與所述可動梳狀驅動電極互鎖。

8.根據權利要求1所述的可變形鏡，其中，在每個接合部處所述鏡基板的厚度大于所述第一區域中的厚度以形成突起部，并且在每個接合部處所述鏡基板的所述突起部的直徑從所述鏡基板的接合側朝向所述鏡基板的反射表面側減小。

9.一種校正波前像差的自適應光學系統，包括：

反射型光調制器，其校正進入所述系統的光的波前像差；

像差測量單元，其測量進入所述系統的光的波前像差；以及

控制單元，其基于所述像差測量單元的測量的結果來控制所述反射型光調制器，

其中，所述反射型光調制器包括根據權利要求1所述的可變形鏡。

10.一種捕捉被檢眼的圖像的眼科裝置，包括：

反射型光調制器，其校正測量光和返回光中的至少一者的波前像差；

像差測量單元，其測量在所述被檢眼處發生的像差；以及

控制單元，其基于所述像差測量單元的測量的結果來控制所述反射型光調制器，

其中，所述反射型光調制器包括根據權利要求1所述的可變形鏡。

11.根據權利要求10所述的眼科裝置，還包括發出具有不超過850nm的波長的激光束的光源。

12.一種制造可變形鏡的方法，該可變形鏡包括具有連續反射表面的鏡基板和在多個接合部處與所述鏡基板相連接的多個致動器，所述方法包括：

準備包括依次布置的硅層、絕緣層和取放層的第一基板的步驟；

在所述硅層的要充當所述接合部的區域周圍在所述硅層中形成薄區域的步驟，所述薄區域具有比所述硅層的其他部分小的厚度；

在第二基板上形成所述多個致動器的步驟；

通過將所述硅層的接合部與所述致動器的接合部相接合來將所述第一基板和所述第二基板連接在一起的步驟；以及

去除所述第一基板的所述取放層和所述絕緣層的步驟。

13.根據權利要求12所述的方法，還包括在將所述第一基板和所述第二基板連接在一起的步驟之前在所述硅層和/或所述致動器的接合部處形成柱或墊的步驟。

14.根據權利要求12所述的方法，還包括在去除所述第一基板的所述取放層和所述絕緣層的步驟之后在所述硅層的不形成接合部的表面上形成反射膜的步驟。