[發明專利]微波離子源及其啟動方法有效
| 申請號： | 201410053592.3 | 申請日： | 2014-02-17 |
| 公開（公告）號： | CN103996591A | 公開（公告）日： | 2014-08-20 |
| 發明（設計）人： | 高橋伸明;村田裕彥 | 申請（專利權）人： | 住友重機械工業株式會社 |
| 主分類號： | H01J27/16 | 分類號： | H01J27/16 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿軍 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微波 離子源 及其 啟動 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種微波離子源，其特征在于，具備：
等離子體室；
磁場發生器，用于在所述等離子體室產生磁場；及
控制部，將所述磁場發生器控制成，對所述等離子體室施加用于等離子體點火的初始磁場，且在等離子體點火后使所述初始磁場變更為普通磁場。
2.根據權利要求1所述的微波離子源，其特征在于，
所述初始磁場被設定為在所述等離子體室引起電子回旋共振。
3.根據權利要求2所述的微波離子源，其特征在于，
所述等離子體室具備用于接受微波的窗、及離子引出開口，
所述初始磁場從所述窗遍及所述離子引出開口具有平坦的磁場分布。
4.根據權利要求3所述的微波離子源，其特征在于，
所述普通磁場是比從所述窗遍及所述離子引出開口滿足電子回旋共振條件的磁場高的磁場。
5.根據權利要求1～4中任一項所述的微波離子源，其特征在于，
所述控制部將所述磁場發生器控制成，在向所述等離子體室供給微波之前開始施加所述初始磁場。
6.一種微波離子源的啟動方法，其特征在于，具備：
對微波離子源的等離子體室施加用于等離子體點火的初始磁場的步驟；及
在等離子體點火后使所述初始磁場變更為普通磁場的步驟。
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